特許
J-GLOBAL ID：200903010271654651

アライメント装置及び成膜装置

発明者：
田中 寿人

田中 寿人 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (1件)： 飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-068846
公開番号（公開出願番号）：特開2005-259948
出願日： 2004年03月11日
公開日（公表日）： 2005年09月22日
要約：
【課題】 マグネット昇降時における基板の位置ズレを防止して、基板とマスクとの間のアライメント精度の向上と成膜済の基板成膜面の保護を図ることができるアライメント装置及びこれを備えた成膜装置を提供する。【解決手段】 マスクホルダ11に支持されている磁性材料製のマスク6に対して基板5を昇降自在に保持する基板保持機構と、マスク6と基板5とを位置合わせするアライメント機構と、マスク6と基板5とを密着させるマグネット7を基板5に対して昇降させるマグネット昇降機構12とを備え、基板保持機構は、基板5の周縁を挟持する一対の第1,第2フック21,22を有する基板保持ユニット10を複数備え、マグネット昇降機構12は、その昇降軸62の下端に固定されたマグネットホルダ61と、このマグネットホルダ61に対して相対移動自在に吊り下げられ基板5の上面に対向配置される基板押え64とを有している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マスクホルダに支持されている磁性材料製のマスクに対して基板を昇降自在に保持する基板保持機構と、前記マスクと前記基板とを位置合わせするアライメント機構と、前記マスクと前記基板とを密着させるマグネットを前記基板に対して昇降させるマグネット昇降機構とを備え、 前記基板保持機構は、前記基板の周縁を挟持する一対の第1,第2フックを有する基板保持ユニットを複数備えてなることを特徴とするアライメント装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (3件)：
H01L21/68 G ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (10件)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031MA29 ,  5F031PA08 ,  5F031PA13
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)

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