複合薄膜とその製造方法及び製造装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森本義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-081768
公開番号（公開出願番号）：特開平10-278171
出願日： 1997年04月01日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】支持体上に少なくとも樹脂薄膜と金属薄膜とが順次積層された複合薄膜とその製造方法及びその製造装置を提供する。【解決手段】複合薄膜においては、樹脂薄膜と前記金属薄膜との境界近傍の酸素濃度を前記樹脂薄膜の厚み中心の酸素濃度よりも高くする。製造方法においては、支持体上に樹脂薄膜を形成した後に前記樹脂薄膜の表面を酸素を主成分として含む放電雰囲気下に晒し、その後に前記樹脂薄膜上に金属薄膜を形成する。製造装置においては、真空中において樹脂薄膜と金属薄膜の形成手段と、樹脂薄膜を形成した後に前記樹脂薄膜の表面を少なくとも酸素を主成分として含む放電雰囲気下に晒す放電手段とを備える。

請求項（抜粋）：

支持体上に少なくとも樹脂薄膜と金属薄膜とが順次積層された複合薄膜において、前記樹脂薄膜と前記金属薄膜との境界近傍の酸素濃度が前記樹脂薄膜の厚み中心の酸素濃度よりも高い複合薄膜。

IPC (5件)：

B32B 15/08 , C23C 14/06 , C23C 14/30 , C23C 14/56 , C23C 14/58

FI (6件)：

B32B 15/08 N , C23C 14/06 N , C23C 14/06 Q , C23C 14/30 Z , C23C 14/56 A , C23C 14/58 C

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平4-152553
有機質基材表面のメタライズ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-033749 出願人：松下電工株式会社
反射鏡およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-290872 出願人：松下電工株式会社

全件表示

審査官引用 (9件)

特開平4-152553
有機質基材表面のメタライズ方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-033749 出願人：松下電工株式会社
反射鏡およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-290872 出願人：松下電工株式会社

全件表示

前のページに戻る