特許
J-GLOBAL ID：200903010319944096
ICPアンテナ及びこれを使用するプラズマ発生装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-096931
公開番号（公開出願番号）：特開2005-011799
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】均一性が向上された高密度プラズマを生成し、アンテナ内部にインダクタンスを減少させるなど安定したプラズマを生成することができるICPアンテナ及びこれを使用するプラズマ発生装置を提供する。【解決手段】プラズマ発生装置に使用されるICP(inductively-coupled plasma)アンテナ20は、環状をなす内側アンテナセグメント21と、前記内側アンテナセグメント21の外側のほぼ同心円上に配置され、前記内側アンテナセグメント21と直列に連結される少なくとも一つの外側アンテナセグメント25とを含み、前記内側アンテナセグメント21及び前記外側アンテナセグメント25のうち、少なくともいずれか一つは相異なる半径を有し、相互並列に連結された複数の環状コイル22,23,26,27を含む。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
プラズマ発生装置に使用されるICP(inductively-coupled plasma)アンテナにおいて、
環状をなす内側アンテナセグメントと、
前記内側アンテナセグメントの外側のほぼ同心円上に配置され、前記内側アンテナセグメントと直列に連結される少なくとも一つの外側アンテナセグメントとを含み、
前記内側アンテナセグメント及び前記外側アンテナセグメントのうち、少なくともいずれか一つは相異なる半径を有し、相互並列に連結された複数の環状コイルを含むことを特徴とするICPアンテナ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
