特許

J-GLOBAL ID：200903010436909552

光導波路構造付きデバイスの製造方法

発明者： 鈴木 敦 ,  小嶋 敏文 ,  宮地 紋一 ,  大野 猛 ,  堀尾 俊和 ,  ▲高▼田 俊克
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-150688
公開番号（公開出願番号）：特開2005-331759
出願日： 2004年05月20日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】 基板上に光導波路を効率よく製造でき、光の伝送ロスが少ない光導波路構造付きデバイスの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 光が伝搬するコア部と、上部クラッド部及び下部クラッド部を備え且つ該コア部を取り囲むクラッド部と、を有する光導波路構造を基板上に備える光導波路構造付きデバイスの製造方法において、上記基板上に下部クラッド部用未硬化フィルムを圧着する未硬化下部クラッド部形成工程と、該下部クラッド部用未硬化フィルムを硬化して下部クラッド部を得る下部クラッド部形成工程と、上記コア部を形成するコア部形成工程と、上部クラッド部を形成する上部クラッド部形成工程と、を備えることを特徴とする光導波路構造付きデバイスの製造方法。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

光が伝搬するコア部と、上部クラッド部及び下部クラッド部を備え且つ該コア部を取り囲むクラッド部と、を有する光導波路構造を基板上に備える光導波路構造付きデバイスの製造方法において、 上記基板上に下部クラッド部用未硬化フィルムを圧着する未硬化下部クラッド部形成工程と、 該下部クラッド部用未硬化フィルムを硬化して下部クラッド部を得る下部クラッド部形成工程と、 上記コア部を形成するコア部形成工程と、 上部クラッド部を形成する上部クラッド部形成工程と、 を備えることを特徴とする光導波路構造付きデバイスの製造方法。

IPC (4件)：

G02B6/13 ,  G02B6/122 ,  H01L31/0232 ,  H01S5/022

FI (4件)：

G02B6/12 M ,  H01S5/022 ,  G02B6/12 B ,  H01L31/02 C

Fターム (24件)：

2H047KA04 ,  2H047LA09 ,  2H047LA12 ,  2H047LA18 ,  2H047MA07 ,  2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H047QA07 ,  2H047TA31 ,  2H047TA42 ,  5F088BA20 ,  5F088BB01 ,  5F088JA03 ,  5F088JA14 ,  5F088JA20 ,  5F173MA01 ,  5F173MC15 ,  5F173MD04 ,  5F173MD27 ,  5F173MD61 ,  5F173MF26 ,  5F173MF28

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光電子混在基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-042519   出願人：京セラ株式会社
• 光通信用デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-373370   出願人：イビデン株式会社

審査官引用 (4件)

• 光導波路形成用放射線硬化性ドライフィルム、およびそれを用いた光導波路ならびに光導波路の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-400880   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 光路変換部を備える光導波基板およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-367284   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 光・電気配線基板及びその製造方法並びに実装基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-237427   出願人：凸版印刷株式会社
• 光導波路の形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-394902   出願人：ジェイエスアール株式会社