特許
J-GLOBAL ID:200903010467219023
プローブ位置固定式微小力測定装置及び測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
渡邊 敏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-308744
公開番号(公開出願番号):特開2003-114185
出願日: 2001年10月04日
公開日(公表日): 2003年04月18日
要約:
【要約】【課題】プローブの観察対象物面と同じ方向の熱ゆらぎを二乗平均変位にして0.1ナノメートルのオーダーまでおさえることにより、微小な粒子間が相互作用する際の観察対象面と同じ方向の相対的な位置を数ナノメートルの精度で制御し、微小な粒子間に働く力を測定する微小力測定装置を提供する。【解決手段】プローブに固定した微小な粒子と観察対象物面に固定した微小な粒子の間に働く力を測定する微小力測定装置の中で、レーザーの放射圧を利用してプローブの位置をフィードバック制御してこのプローブの位置を固定する微小力測定装置のうち、レーザー放射圧を前記観察対象物面と同じ方向に与えて、前記観察対象物面と同じ方向のプローブの位置を固定する事により、微小な粒子間が相互作用する際の観察対象物面と同じ方向の相対的な位置を数ナノメートルの精度で制御し、上記観察対象物面と同じ方向の微小な力を測定する微小力測定装置を提供する。
請求項(抜粋):
プローブに固定した微小な粒子と観察対象物面の間に働く力学的な力を測定する微小力測定装置において、前記微小な粒子が移動することによるプローブの位置の変化を、光圧用レーザーの放射圧を利用してプローブの位置をフィードバック制御してこのプローブの位置を静止固定する手段、該レーザー出力を経時的に測定記録する手段、とを有する微小力測定装置。
IPC (3件):
G01N 13/16
, G01B 11/00
, G02B 21/32
FI (4件):
G01N 13/16 C
, G01N 13/16 A
, G01B 11/00 G
, G02B 21/32
Fターム (18件):
2F065AA02
, 2F065AA06
, 2F065AA20
, 2F065BB01
, 2F065BB22
, 2F065FF51
, 2F065GG05
, 2F065GG22
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ23
, 2F065LL09
, 2F065LL12
, 2F065NN20
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ41
, 2H052AF19
引用特許:
引用文献: