特許
J-GLOBAL ID：200903010500674602
感光性樹脂組成物およびその用途
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-297326
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123707
出願日： 1996年10月17日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 レジストの金属基板への密着性、感光性(感度)に優れ、更には現像時のスラッジの発生量が少なく、かつ現像液の抑泡性にも優れた感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 特定の化合物を共重合成分とするベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)及び9-フェニルアクリジンと特定の化合物を含有する光重合開始剤(C)を主成分とする。
請求項（抜粋）：
下記化1で示される化合物(A1)とα,β-不飽和カルボキシル基含有モノマー(A2)を必須の共重合成分とするバインダーポリマー(A)、【化1】(式中、R1は水素原子又はメチル基で、R2は炭素数4以上の飽和炭化水素で、nは2〜5の整数、mは1〜14の整数である。)エチレン性不飽和化合物(B)、9-フェニルアクリジン(C1)及び下記化2で示される化合物(C2)を含有する光重合開始剤(C)、【化2】(式中、R3はアルキル基で置換されていてもよいフェニル基で、R4は水素原子または炭素数1〜8のアルキル基である。)を主成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, H05K 3/06
G03F 7/027 502
, G03F 7/028
, G03F 7/033
, H05K 3/06 H
