特許
J-GLOBAL ID:200903010503069122
ポジ型感活性エネルギー線性ドライフィルム及びパターン形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-237883
公開番号(公開出願番号):特開2001-033965
出願日: 1999年08月25日
公開日(公表日): 2001年02月09日
要約:
【要約】【課題】 感光性に優れたポジ型感活性エネルギー線性ドライフィルムを提供する。【解決手段】 非感活性エネルギー線性支持基材表面に(A)ビニルエーテルウレタン系化合物、ビニルエステルウレタン系化合物、及びプロペニルエステルウレタン系化合物から選ばれる少なくとも1種の不飽和ウレタン系化合物、(B)カルボキシル基及び/又はヒドロキシフェニル基を含有する樹脂又は混合物及び(C)光酸発生剤を必須成分として含有する樹脂組成物を塗装した後、加熱架橋させて形成される固体状のポジ型感活性エネルギー線性ウレタン系樹脂層を有することを特徴とするポジ型感活性エネルギー線性ドライフィルム。
請求項(抜粋):
非感活性エネルギー線性支持基材表面に(A)ビニルエーテルウレタン系化合物、ビニルエステルウレタン系化合物、及びプロペニルエステルウレタン系化合物から選ばれる少なくとも1種の不飽和ウレタン系化合物、(B)カルボキシル基及び/又はヒドロキシフェニル基を含有する樹脂又は混合物及び(C)光酸発生剤を必須成分として含有する樹脂組成物を塗装した後、加熱架橋させて形成される固体状のポジ型感活性エネルギー線性ウレタン系樹脂層を有することを特徴とするポジ型感活性エネルギー線性ドライフィルム。
IPC (4件):
G03F 7/039
, G03F 7/004 512
, G03F 7/035
, H05K 3/06
FI (4件):
G03F 7/039
, G03F 7/004 512
, G03F 7/035
, H05K 3/06 J
Fターム (37件):
2H025AA01
, 2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AB11
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BC19
, 2H025BC23
, 2H025BC83
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BF29
, 2H025BG00
, 2H025BJ10
, 2H025CB13
, 2H025CB17
, 2H025CB29
, 2H025CB41
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025CB51
, 2H025CC17
, 2H025CC20
, 2H025EA08
, 2H025FA12
, 2H025FA24
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CD01
, 5E339CE12
, 5E339CE16
, 5E339CF06
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339DD02
, 5E339DD04
引用特許: