特許
J-GLOBAL ID：200903010608415492
反射防止材、スタンパ、スタンパの製造方法およびスタンパを用いた反射防止材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
奥田 誠司
, 喜多 修市
, 山下 亮司
, 三宅 章子
, 川口 寿志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-102489
公開番号（公開出願番号）：特開2009-166502
出願日： 2009年04月20日
公開日（公表日）： 2009年07月30日
要約：
【課題】大面積あるいは特殊な形状のスタンパの製造にも好適に用いられるスタンパの製造方法を提供する。【解決手段】 表面に微細な凹凸構造を有するスタンパの製造方法であって、(a)表面に、少なくともアルミニウムを95質量%以上含むアルミニウム層を備える基材を用意する工程と、(b)アルミニウム層を部分的に陽極酸化することによって、複数の微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、(c)ポーラスアルミナ層をアルミナのエッチャントに接触させることによって、ポーラスアルミナ層の複数の微細な凹部を拡大させる工程とを包含し、工程(b)および(c)を交互に複数回行うことによって、ポーラスアルミナ層にそれぞれが階段状の側面を有する複数の微細な凹部を形成する。【選択図】図13
請求項（抜粋）：
表面に微細な凹凸構造を有するスタンパの製造方法であって、
(a)表面に、少なくともアルミニウムを95質量%以上含むアルミニウム層を備える基材を用意する工程と、
(b)前記アルミニウム層を部分的に陽極酸化することによって、複数の微細な凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程と、
(c)前記ポーラスアルミナ層をアルミナのエッチャントに接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の微細な凹部を拡大させる工程と、
を包含し、
前記工程(b)および(c)を交互に複数回行うことによって、前記ポーラスアルミナ層にそれぞれが階段状の側面を有する複数の微細な凹部を形成することを特徴とするスタンパの製造方法。
IPC (3件)：
B29C 33/38
, G02B 1/11
, B29C 45/36
B29C33/38
, G02B1/10 A
, B29C45/36
2K009AA01
, 2K009BB01
, 2K009BB11
, 4F202AH73
, 4F202AJ02
, 4F202AJ06
, 4F202AJ09
, 4F202AJ10
, 4F202CA11
, 4F202CA30
, 4F202CB01
, 4F202CD22
, 4F202CK12
, 4F202CQ05
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
出願人引用 (1件)
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第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.3, 20050329, 1112頁30p-ZR-9
審査官引用 (2件)
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第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.3, 20050329, 1112頁30p-ZR-9
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第52回応用物理学関係連合講演会講演予稿集No.3, 20050329, 1112頁30p-ZR-9
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