特許
J-GLOBAL ID:200903010627434910
基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
世良 和信
, 和久田 純一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-352001
公開番号(公開出願番号):特開2006-220648
出願日: 2005年12月06日
公開日(公表日): 2006年08月24日
要約:
【課題】基板検査に用いられる検査ロジックを自動生成可能な技術を提供する。【解決手段】検査ロジック設定装置が、検査により検出されるべき部品を撮像して得られた複数の第1画像と検査により除外されるべき部品を撮像して得られた複数の第2画像とを取得し、前記複数の第1画像および第2画像のそれぞれの画像を複数のブロックに分割し、前記複数の第1画像と前記複数の第2画像との間の色距離を、前記ブロックごとに算出し、前記複数のブロックの中から色距離が相対的に大きいブロックを1つ以上選択し、選択されたブロックを領域条件として設定する。【選択図】図10
請求項(抜粋):
基板上の実装部品に異なる入射角で複数の色の光を照射し、その反射光を撮像して得られた画像から所定の領域条件で規定される検査領域を抽出し、その検査領域から所定の色条件を満たす領域を抽出し、抽出された領域が所定の判定条件を満たすか否かで前記部品の実装状態を検査する基板検査装置において用いられる検査ロジックを生成する方法であって、
情報処理装置が、
検査により検出されるべき部品を撮像して得られた複数の第1画像と検査により除外されるべき部品を撮像して得られた複数の第2画像とを取得し、
前記複数の第1画像および第2画像のそれぞれの画像を複数のブロックに分割し、
前記複数の第1画像と前記複数の第2画像との間の色距離を、前記ブロックごとに算出し、
前記複数のブロックの中から色距離が相対的に大きいブロックを1つ以上選択し、
選択されたブロックを前記領域条件として設定する基板検査装置の検査ロジック設定方法。
IPC (4件):
G01N 21/956
, G01B 11/24
, H05K 3/34
, G06T 1/00
FI (4件):
G01N21/956 B
, G01B11/24 K
, H05K3/34 512B
, G06T1/00 300
Fターム (49件):
2F065AA17
, 2F065AA21
, 2F065AA53
, 2F065AA58
, 2F065AA61
, 2F065BB02
, 2F065CC01
, 2F065CC25
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065FF41
, 2F065GG17
, 2F065GG23
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065PP12
, 2F065QQ03
, 2F065QQ36
, 2F065QQ38
, 2F065QQ43
, 2G051AA65
, 2G051AB14
, 2G051BA01
, 2G051BA04
, 2G051CA04
, 2G051DA05
, 2G051EA11
, 2G051EA14
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EC01
, 2G051EC02
, 2G051ED04
, 2G051ED21
, 5B057AA03
, 5B057BA02
, 5B057BA29
, 5B057CE12
, 5B057DA03
, 5B057DB02
, 5B057DB06
, 5B057DB09
, 5B057DC23
, 5B057DC25
, 5E319BB01
, 5E319CC22
, 5E319CD53
, 5E319GG15
, 5E319GG20
引用特許:
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