特許
J-GLOBAL ID：200903010683402797

ダイヤフラム及びダイヤフラムポンプ並びにダイヤフラムの製造方法

発明者：
正木 康史

正木 康史 について

, 
川口 達治

川口 達治 について


出願人/特許権者：
松下電工株式会社

松下電工株式会社 について


代理人 (1件)： 安藤 淳二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-079522
公開番号（公開出願番号）：特開2001-263486
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年09月26日
要約：
【要約】【目的】 流量及び圧力の大きな小型のダイヤフラムホンプを提供する。【構成】 誘電分極により延伸する電歪ポリマーからなる薄膜部11の上下面に、例えばスパッタリングなどの物理蒸着法によって薄膜状の電極部12を形成して、本発明に係るダイヤフラム10を得る。このとき、電極部12を薄膜部11よりも小さく形成し、薄膜部11の周縁領域に電極部12の形成されていない固定領域14を設ける。このダイヤフラム10を排気路2及び吸気路3が形成された筐体1の上面に載置し、当該ダイヤフラム10に張力を掛けながら、固定領域14を筐体1の側面に接合して、本発明に係るダイヤフラムポンプAを得る。
請求項（抜粋）：
誘電分極により延伸する電歪ポリマーからなる薄膜部と、当該薄膜部の上下面に備えられた電極部とを具備することを特徴とするダイヤフラム。
IPC (4件)：
F16J 3/02 ,  F04B 37/02 ,  F04B 43/02 ,  F04B 45/04
FI (11件)：
F16J 3/02 B ,  F16J 3/02 A ,  F16J 3/02 C ,  F16J 3/02 D ,  F04B 37/02 B ,  F04B 43/02 B ,  F04B 43/02 C ,  F04B 43/02 D ,  F04B 45/04 B ,  F04B 45/04 C ,  F04B 45/04 D
Fターム (48件)：
3H076AA23 ,  3H076BB50 ,  3H076CC35 ,  3H076CC51 ,  3H076CC55 ,  3H077AA01 ,  3H077AA11 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC07 ,  3H077CC08 ,  3H077CC09 ,  3H077CC11 ,  3H077DD06 ,  3H077DD11 ,  3H077EE01 ,  3H077EE02 ,  3H077EE03 ,  3H077EE16 ,  3H077EE21 ,  3H077EE23 ,  3H077EE26 ,  3H077EE34 ,  3H077EE40 ,  3H077FF07 ,  3H077FF08 ,  3H077FF09 ,  3H077FF10 ,  3H077FF12 ,  3H077FF13 ,  3H077FF14 ,  3H077FF22 ,  3H077FF23 ,  3H077FF33 ,  3H077FF34 ,  3H077FF36 ,  3H077FF43 ,  3H077FF44 ,  3H077FF60 ,  3J045AA02 ,  3J045AA06 ,  3J045AA14 ,  3J045BA03 ,  3J045BA04 ,  3J045CA07 ,  3J045CA20 ,  3J045DA10 ,  3J045EA10
引用特許：
審査官引用 (11件)
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