特許

J-GLOBAL ID：200903010733974444

多層膜反射鏡及び露光装置

発明者： 村上 勝彦 ,  白石 雅之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-333699
公開番号（公開出願番号）：特開2007-140105
出願日： 2005年11月18日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：

【課題】 酸化による反射率低下が生じにくい多層膜反射鏡及び該多層膜反射鏡を備えた露光装置を提供する。【解決手段】 基板(4)表面にMoを主成分とする層とSiを主成分とする層を交互に周期的に成膜した構造を有するMo/Si多層膜(6)と、前記Mo/Si多層膜上にRuを主成分とする層とSiを主成分とする層を交互に周期的に成膜した構造を有するRu/Si多層膜(8)とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板表面にMoを主成分とする層とSiを主成分とする層を交互に周期的に成膜した構造を有するMo/Si多層膜と、 前記Mo/Si多層膜上にRuを主成分とする層とSiを主成分とする層を交互に周期的に成膜した構造を有するRu/Si多層膜と を備えることを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (5件)：

G02B 5/28 ,  G02B 5/26 ,  H01L 21/027 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02

FI (7件)：

G02B5/28 ,  G02B5/26 ,  H01L21/30 531A ,  G21K1/06 B ,  G21K1/06 C ,  G21K1/06 D ,  G21K5/02 X

Fターム (11件)：

2H048FA05 ,  2H048FA09 ,  2H048FA18 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA12 ,  2H048GA30 ,  2H048GA33 ,  2H048GA52 ,  2H048GA61 ,  5F046GB01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 多層膜反射鏡及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-128816   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (3件)

• リソグラフィ装置、デバイス製造方法、この方法によって製造されるデバイス、反射器製造方法、この方法によって製造される反射器、位相シフト・マスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-142416   出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
• 反射型マスク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-021863   出願人：株式会社ニコン
• 極端紫外光学素子用のキャッピング層
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-195020   出願人：エイエスエムリトグラフィーベスローテンフエンノートシャップ