特許
J-GLOBAL ID：200903010935295832
準揮発性有機化合物(SVOC)の放散量測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (7件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-092326
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275627
出願日： 2005年03月28日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 チャンバー内壁面への準揮発性有機化合物(SVOC)の吸着による測定誤差が少なく、正確・高精度であって、チャンバーの加熱や洗浄が不要で、被測定物を非破壊で測定できる準揮発性有機化合物の放散量測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】 チャンバー内に設置した被測定物から放散する準揮発性有機化合物の放散量を測定する方法であって、流体力学シミュレーションによりチャンバー内の気流を解析して、チャンバー内に設置した被測定物から放散する化学物質の濃度が、瞬時一様拡散濃度を100とした時に、100±1〜20%となる領域を特定する工程(a)と、実際にチャンバー内に被測定物を設置して換気し、瞬時一様拡散濃度を100とした時に、100±1〜20%となる領域の空気を捕集し、準揮発性有機化合物の汚染濃度を測定する工程(b)を有する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
チャンバー内に設置した被測定物から放散する準揮発性有機化合物の放散量を測定する方法であって、
流体力学シミュレーションにより前記チャンバー内の気流を解析して、前記チャンバー内に設置した前記被測定物から放散する化学物質の濃度が、瞬時一様拡散濃度を100とした時に、100±1〜20%となる領域を特定する工程(a)と、
実際に前記チャンバー内に前記被測定物を設置して換気し、前記瞬時一様拡散濃度を100とした時に、100±1〜20%となる領域の空気を捕集し、前記準揮発性有機化合物の汚染濃度を測定する工程(b)を有することを特徴とする準揮発性有機化合物の放散量測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N1/22 B
, G01N1/00 101R
2G052AA03
, 2G052AB12
, 2G052AB13
, 2G052AB27
, 2G052AC12
, 2G052AD02
, 2G052AD22
, 2G052AD42
, 2G052BA05
, 2G052BA14
, 2G052BA21
, 2G052CA04
, 2G052CA12
, 2G052ED03
, 2G052ED09
, 2G052GA24
, 2G052GA27
, 2G052JA04
, 2G052JA09
, 2G052JA11
, 2G052JA24
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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引用文献：
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