特許
J-GLOBAL ID：200903003078163601
ミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
川和 高穂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-400308
公開番号（公開出願番号）：特開2004-200669
出願日： 2003年11月28日
公開日（公表日）： 2004年07月15日
要約：
【課題】清浄容器及びミニエンバイロメント装置内での半導体ウエハへの不純物ガスの接触を防止して歩留りの低下を防止することが出来るミニエンバイロメント装置、薄板状物製造システム及び清浄容器の雰囲気置換方法を提供すること。【解決手段】薄板状物を気密可能に収納する清浄容器12を載置し、その蓋を着脱開閉するためのロードポート13と、搬送機14と、ファンフィルタユニット15と、ミニエンバイロメント室91-1内の気体を回収してファンフィルタユニット15に循環させる循環路24を具えている。さらに、内部の清浄気体を清浄容器12の内部に案内する整流部材52と、多数の貫通孔を有する第1の仕切り板92と、気体を通さない第2の仕切り板93とを備える。これにより、循環気体を清浄に保つとともに、内部の気流を層流にする。また、清浄容器内の雰囲気を清浄気体によって高速置換することも可能となる。【選択図】図12
請求項（抜粋）：
薄板状物を気密可能に収納する清浄容器を載置し、前記清浄容器の蓋部を開閉または着脱するためのロードポートと、搬送アームにより前記清浄容器から前記薄板状物を取り出し、該薄板状物の処理を行う処理室に移載する搬送機と、気体を通過させる際に気体中の塵埃を取り除く清浄手段とを備え、内部を清浄環境状態に維持するミニエンバイロメント装置であって、
前記ミニエンバイロメント装置内に充填されている無害または低害気体を回収して前記清浄手段に循環させる循環路を有する循環手段とを具えることを特徴とするミニエンバイロメント装置。
IPC (4件)：
H01L21/68
, B65G49/00
, F24F7/06
, H01L21/304
H01L21/68 A
, B65G49/00 A
, F24F7/06 C
, H01L21/304 648C
3L058BE02
, 3L058BF06
, 3L058BF09
, 3L058BG01
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA08
, 5F031EA14
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031NA04
, 5F031NA07
, 5F031NA10
, 5F031NA16
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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