特許
J-GLOBAL ID：200903010965084569
アルミニウム含有材料用エッチング組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-062044
公開番号（公開出願番号）：特開2001-247984
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：
【要約】【課題】 アルミニウム含有材料のエッチングにおいて、高エッチングスピード(高エッチレート)を維持したまま、孔食を生じず、高エッチング精度、特に高直線加工精度を得ることのできるアルミニウム含有材料用エッチング組成物を提供すること。【解決手段】 必須成分として、(a)無水分換算で15〜30重量%のリン酸、(b)無水分換算で10〜25重量%の塩化水素及び(c)0.001〜0.05重量%の界面活性剤を含有する水溶液からなるアルミニウム含有材料用エッチング組成物。
請求項（抜粋）：
必須成分として、(a)無水分換算で15〜30重量%のリン酸、(b)無水分換算で10〜25重量%の塩化水素及び(c)0.001〜0.05重量%の界面活性剤を含有する水溶液からなるアルミニウム含有材料用エッチング組成物。
Fターム (9件)：
4K057WA10
, 4K057WA11
, 4K057WB05
, 4K057WC10
, 4K057WE04
, 4K057WE08
, 4K057WE11
, 4K057WG03
, 4K057WM04
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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