特許
J-GLOBAL ID：200903011177475898

アセタール/脂環式ポリマーおよびフォトレジスト組成物

発明者：
ティモシー・ジー・アダムズ

ティモシー・ジー・アダムズ について

, 
スザンヌ・コーリー

スザンヌ・コーリー について


出願人/特許権者：
シップレーカンパニー エル エル シー

シップレーカンパニー エル エル シー について


代理人 (1件)： 千田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-296564
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295444
出願日： 2002年10月09日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】 優れたリソグラフィー特性を賦与することのできる新規なポリマーの提供。【解決手段】 光活性成分および脂環式単位およびフォト酸レイビルアセタール単位を含むポリマーを含むフォトレジスト組成物。
請求項（抜粋）：
光活性成分および脂環式単位およびフォト酸レイビルアセタール単位を含むポリマーを含むフォトレジスト組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F216/38 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 7/039 601 ,  C08F216/38 ,  H01L 21/30 502 R
Fターム (34件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AB07R ,  4J100AF15P ,  4J100AL03Q ,  4J100AL04Q ,  4J100AL05Q ,  4J100AL08Q ,  4J100BA13R ,  4J100BB17Q ,  4J100BC02Q ,  4J100BC03Q ,  4J100BC07Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12Q ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
引用特許：
審査官引用 (10件)
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