特許
J-GLOBAL ID：200903011212412403

力学量センサ

発明者：
青山 正紀

青山 正紀 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-055649
公開番号（公開出願番号）：特開2008-216118
出願日： 2007年03月06日
公開日（公表日）： 2008年09月18日
要約：
【課題】スティッキングに関しての自己診断を行うことを可能としながらも、簡易な構成で済ませる。【解決手段】制御回路は、自己診断の実行が指示されると、固定電極部と可動電極部との間に第2の自己診断用信号を印加してセンサ感度の良否を判定する感度診断を実行した後、第1の自己診断用信号に切替えてスティッキング診断を実行する。固定電極部に印加する搬送波FE1及びFE2の波形は、5Vと0Vとの間での振幅を有し所定のデューティ比を有するパルス状の信号であり、可動電極部の共振周波数に近く5倍以上の共振倍率を得る自己診断周波数fとする。可動電極部に印加する信号を、所定のデューティ比を有し自己診断周波数fのパルス状の信号とすると共に、感度診断においては中間電圧(2.5V)と4.0Vとの間の振幅を有し、スティッキング診断においては中間電圧とより高い電圧(5V)との間の振幅を有するものとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ばね部を介して支持され力学量の作用に応じて変位する可動電極部と、この可動電極部の変位方向両側に隙間をもって配置された一対の固定電極部とを備え、前記一対の固定電極部に互いに逆位相となるパルス状の搬送波を印加すると共に、前記可動電極部に、前記搬送波の中間電圧となるように可動電極電圧を印加し、前記力学量を前記固定電極部と可動電極部との間の静電容量の変化として検出する力学量センサにおいて、 前記固定電極部と可動電極部との間に、前記可動電極電圧を前記中間電圧とは異ならせながらパルス状の自己診断用信号を印加する信号印加手段と、 この信号印加手段により自己診断用信号が印加された際に前記固定電極部と可動電極部との間に生ずる前記静電容量の変化に基づいて自己診断を行う自己診断手段とを具備し、 前記信号印加手段により、前記固定電極部と可動電極部との間に、該可動電極部の共振周波数の1.1倍以上の共振倍率を得ることが可能な周波数の第1の自己診断用信号が印加されることにより、前記可動電極部を共振させて前記固定電極部に接触する程度の変位量を得るように構成されていると共に、 前記自己診断手段は、前記第1の自己診断用信号が印加された際の前記静電容量の変化からスティッキング発生の有無の判定を行うように構成されていること特徴とする力学量センサ。
IPC (3件)：
G01P 21/00 ,  H01L 29/84 ,  G01P 15/125
FI (3件)：
G01P21/00 ,  H01L29/84 Z ,  G01P15/125 V
Fターム (11件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA32 ,  4M112CA33 ,  4M112DA17 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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