特許
J-GLOBAL ID：200903011284484204

可撓性タンクとこれを用いた薬液供給装置

発明者：
矢島 丈夫

矢島 丈夫 について


出願人/特許権者：
株式会社コガネイ

株式会社コガネイ について


代理人 (2件)： 筒井 大和 ,  小塚 善高
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-130160
公開番号（公開出願番号）：特開2005-305396
出願日： 2004年04月26日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：
【課題】 薬液の清浄度を損なうことなく薬液を収容することが可能なタンクを用いて薬液の吐出精度の向上を図った薬液供給装置を提供する。【解決手段】 可撓性タンク20は、収容される薬液量に応じて膨張収縮する可撓性チューブ28aとこの可撓性チューブ28aが装着されるアダプタ部27a,27bとにより区画形成される容積可変室29を有している。アダプタ部27aには容積可変室29に開口する一次側ポート21が開口しており、アダプタ部27bには容積可変室29に開口する二次側ポート22とが開口している。容積可変室29での薬液と空気との接触を最小限に抑えることにより、薬液の清浄度を損なうことなく薬液を収容することができ、薬液の吐出精度も向上する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
収容される薬液量に応じて膨張収縮する可撓性膜と、当該可撓性膜が装着されるアダプタ部とにより区画形成される容積可変室と、 前記アダプタ部に形成され前記容積可変室に開口する一次側ポートと二次側ポートとを有することを特徴とする可撓性タンク。
IPC (5件)：
B05C11/10 ,  B65D83/00 ,  F04B43/02 ,  H01L21/027 ,  H01L21/306
FI (7件)：
B05C11/10 ,  F04B43/02 N ,  H01L21/30 564Z ,  H01L21/30 569A ,  H01L21/30 572B ,  H01L21/306 J ,  B65D83/00 J
Fターム (36件)：
3E014PA01 ,  3E014PB01 ,  3E014PC04 ,  3E014PD11 ,  3E014PE30 ,  3H077AA08 ,  3H077BB03 ,  3H077BB10 ,  3H077CC02 ,  3H077CC03 ,  3H077DD13 ,  3H077EE05 ,  3H077EE11 ,  3H077EE35 ,  3H077FF03 ,  3H077FF06 ,  3H077FF13 ,  3H077FF22 ,  3H077FF45 ,  4F042AA06 ,  4F042BA02 ,  4F042BA06 ,  4F042BA11 ,  4F042CA03 ,  4F042CA09 ,  4F042CB03 ,  4F042CB10 ,  4F042CB11 ,  4F042CB19 ,  5F043EE27 ,  5F046JA03 ,  5F046JA27 ,  5F046LA03 ,  5F046LA19 ,  5F046MA06 ,  5F046MA10
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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