測長装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井上義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-287372
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097686
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】通常の材料のステージ装置に熱膨張係数の小さいスケールを用いても簡易に座標ドリフト量を低減することができる測長装置を提供することを目的とする。【解決手段】載物ガラス20上の任意の測定点Aの座標を測定し、その後に装置温度が上昇したとすると、鋳鉄製の上板92は、温度上昇にともなって膨張する。低膨張材の載物ガラス20とエンコーダスケール80aも膨張する。そのX成分について、載物ガラス20とエンコーダスケール80aについては、取付基準面DSから定点Aまでの長さXdが共通であるため、これらの相対位置は不変である。さらに、位置検出ヘッド80bの検出基準点は、観察光学系10の検出基準点とともに、中央面CS上に配置されている。この結果、温度変化に拘わらずリニアエンコーダ80によって一定値が検出される。つまり、この測長装置では、温度変化による座標のドリフトが生じないことになる。

請求項（抜粋）：

被検物を載置した載物ガラスを保持するとともに基準部材に対して所定方向に往復移動可能なスライド部材と、前記基準部材に対して前記所定方向に関して固定されるとともに前記載物ガラス上の被検物の所望部位を検出するための対象検出部と、前記スライド部材の前記基準部材に対する前記所定方向の位置を読み取るためのエンコーダスケール及び位置検出ヘッドを有するリニアエンコーダとを備える測長装置において、前記エンコーダスケール及び前記載物ガラスの熱膨張係数を略等しくするとともに、前記載物ガラス及び前記スライド部材の温度変化に伴う伸縮の影響を相殺するように前記エンコーダスケール、前記位置検出ヘッド及び前記対象検出部を配置することを特徴とする測長装置。

IPC (3件)：

G01B 21/02 , G01B 11/00 , G01D 5/36

FI (5件)：

G01B 21/02 S , G01B 11/00 F , G01D 5/36 A , G01D 5/36 H , G01D 5/36 Y

Fターム (34件)：

2F065AA03 , 2F065EE02 , 2F065FF01 , 2F065FF16 , 2F065FF18 , 2F065MM02 , 2F065PP12 , 2F065PP22 , 2F065PP24 , 2F065UU04 , 2F069AA03 , 2F069DD30 , 2F069EE02 , 2F069EE26 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG62 , 2F069HH09 , 2F069HH13 , 2F069HH14 , 2F069JJ14 , 2F069MM02 , 2F069MM11 , 2F069MM24 , 2F069MM34 , 2F069RR03 , 2F103BA01 , 2F103BA02 , 2F103CA02 , 2F103DA01 , 2F103DA12 , 2F103EA15 , 2F103EA19

引用特許：

審査官引用 (15件)

電子部品用三次元測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-244087 出願人：アピックヤマダ株式会社, 株式会社日本デジテック
位置測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-140392 出願人：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
計尺装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-141131 出願人：ジャパン・イー・エム株式会社

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