特許

J-GLOBAL ID：200903011535297050

耐食性複合部材

発明者： 鈴木 敦 ,  大滝 浩通 ,  岸 幸男
出願人/特許権者： 株式会社日本セラテック ,  太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-207161
公開番号（公開出願番号）：特開2001-031484
出願日： 1999年07月22日
公開日（公表日）： 2001年02月06日
要約：

【要約】【課題】 ハロゲン系腐蝕ガスまたはハロゲンガスプラズマに対する耐性が高く、しかも大型部品に適した耐食性複合部材を提供すること。【解決手段】 熱膨張率が7×10-6〜12×10-6で誘電損失が5×10-3以下の支持体と、その上に形成され、希土類酸化物を50重量%以上含む耐食性層とにより複合部材を構成する。そして、その耐食性膜がハロゲン系腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマに曝される部位を構成する。

請求項（抜粋）：

熱膨張率が7×10-6〜12×10-6で誘電損失が5×10-3以下の支持体と、その上に形成され、希土類酸化物を50重量%以上含み、ハロゲン系腐蝕ガスあるいはそれらのプラズマに曝される部位を構成する耐食性膜とを有することを特徴とする耐食性複合部材。

IPC (3件)：

C04B 41/87 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

C04B 41/87 J ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 B

Fターム (10件)：

4K057DD01 ,  4K057DE01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE11 ,  4K057DM01 ,  4K057DM35 ,  4K057DM40 ,  4K057DN01 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 耐食性部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-201566   出願人：京セラ株式会社
• 耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-080657   出願人：京セラ株式会社
• 高周波用低損失誘電体材料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-169537   出願人：京セラ株式会社
• 高周波導入窓材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-098684   出願人：京セラ株式会社
• 特開昭11-080925