特許
J-GLOBAL ID：200903011722988210

3端子固有ジョセフソン接合積層体

発明者：
王 華兵

王 華兵 について

, 
羽多野 毅

羽多野 毅 について

, 
有沢 俊一

有沢 俊一 について


出願人/特許権者：
独立行政法人物質・材料研究機構

独立行政法人物質・材料研究機構 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-007454
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196741
出願日： 2005年01月14日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
【課題】固有ジョセフソン接合特性とともに、温度等の物理パラメータを測定することができる固有ジョセフソン接合積層体を提供すること及びそれを用いた固有ジョセフソン接合積層体の評価方法を提供する。【解決手段】劈開性単結晶を立体的に微細加工して作製する。すなわち、上部には上部電極Tを、中間部には中間電極M1,M2を、下部には下部電極Bを各々、積層面に並行に突き出るように形成し、その上部電極Tと中間電極M1,M2との間、及び中間電極M1,M2と下部電極Bとの間にはいずれにも固有ジョセフソン接合スタック(上部スタック及び下部スタック)を形成する。2個のスタックのうちの一方のスタックを通常の固有ジョセフソン接合特性評価用スタックとし、他方のスタックを温度測定用スタックとして用いれば、温度変化をリアルタイムでモニターしながら、ジョセフソン特性の測定が可能である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
劈開性単結晶を立体的に微細加工して得られる固有ジョセフソン接合積層体であって、 その固有ジョセフソン接合積層体の上部には上部電極が、中間部には中間電極が、下部には下部電極が各々、積層面に並行に突き出るように形成されるとともに、 前記上部電極と中間電極との間、及び中間電極と下部電極との間にはいずれにも、固有ジョセフソン接合スタックが形成されている固有ジョセフソン接合積層体。
IPC (1件)：
H01L 39/22
FI (1件)：
H01L39/22 A
Fターム (5件)：
4M113AA01 ,  4M113AA06 ,  4M113AA16 ,  4M113AD37 ,  4M113CA35
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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