特許
J-GLOBAL ID：200903071916763999
マイクロ電気機械的共振器構造及びその設計方法、作動方法、及び使用方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
社本 一夫
, 増井 忠弐
, 小林 泰
, 千葉 昭男
, 富田 博行
, 吹田 礼子
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-512325
公開番号（公開出願番号）：特表2008-546243
出願日： 2006年05月03日
公開日（公表日）： 2008年12月18日
要約：
【課題】 直線状の又は実質的に直線状の複数のビーム区分と、これらのビーム区分を連結する湾曲区分とを含むマイクロ電気機械的共振器構造を提供する。【解決手段】 細長いビーム区分の各々は、先端が、湾曲区分を介して別の細長いビーム区分に連結されており、これによって、湾曲区分によって相互連結された少なくとも二つの細長いビーム区分を持つ幾何学的形状(例えば、丸みのある三角形形状、丸みのある正方形又は矩形形状)を形成する。構造は、一つ又はそれ以上の節点又は節領域(共振器構造の振動中に定置であり、ほとんど動かず、及び/又は実質的に定置の共振器構造の部分)を、構造の湾曲区分の一つ又はそれ以上の部分又は領域に含む。これらの節点は、共振器構造を基材に固定するのに適した及び/又は好ましい位置である。作動では、共振器構造は、伸長(即ちブリージング)モード及びベンディングモードの組み合わせで振動する。即ち、ビーム区分(同じ周波数で振動する)は、伸長様(即ちベンディング様)動作及びベンディング様動作を行うのである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マイクロ電気機械的共振器構造において、
各々が第1端及び第2端を持つ複数の細長い直線状ビーム区分と、
各々が第1端及び第2端を持つ複数の湾曲区分であって、少なくとも一つの湾曲区分が節点を持つ、湾曲区分とを含み、
前記ビーム区分の各端は前記湾曲区分のうちの一つの関連した端に連結されており、これによって所定の幾何学的形状を形成し、更に、
少なくとも一つのアンカー結合区分と、
前記共振器構造を基材に固定するため、前記アンカー結合区分を介して前記節点に連結された基材アンカーとを含む、マイクロ電気機械的共振器構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
3C081AA01
, 3C081AA09
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA48
, 3C081EA02
, 3C081EA22
, 5J108AA09
, 5J108KK07
出願人引用 (2件)
-
米国特許第6,249,073号
-
米国特許第6,624,726号
審査官引用 (8件)
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