特許
J-GLOBAL ID：200903012105429960

ノズルプレートの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置。

発明者：
島田 勝人

島田 勝人 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-003075
公開番号（公開出願番号）：特開2002-205404
出願日： 2001年01月10日
公開日（公表日）： 2002年07月23日
要約：
【要約】【課題】 ノズル開口の形成精度及び高密度化を計ることができるノズルプレートの製造方法及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 圧電素子の設けられた流路形成基板に接合されるノズルプレートにおいて、シリコン単結晶基板の一方面側からドライエッチングすることにより、深さ方向に径が略同一のノズル開口21の同径部21aを当該シリコン単結晶基板を貫通することなく形成する第1の工程と、前記シリコン単結晶基板の他方面側から前記同径部21aの底部までウェットエッチングすることにより開口面積が開口に向かって漸大する前記ノズル開口21のテーパ部21bを形成する第2の工程とによりノズルプレート20を製造する。
請求項（抜粋）：
圧電素子の設けられた流路形成基板に接合されるノズルプレートにおいて、シリコン単結晶基板の一方面側からドライエッチングすることにより、深さ方向に径が略同一のノズル開口の同径部を当該シリコン単結晶基板を貫通することなく形成する第1の工程と、前記シリコン単結晶基板の他方面側から前記同径部の底部までウェットエッチングすることにより開口面積が開口に向かって漸大する前記ノズル開口のテーパ部を形成する第2の工程とを有することを特徴とするノズルプレートの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/135 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (2件)：
B41J 3/04 103 N ,  B41J 3/04 103 A
Fターム (11件)：
2C057AF93 ,  2C057AG02 ,  2C057AG05 ,  2C057AG14 ,  2C057AP12 ,  2C057AP13 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (6件)
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