特許
J-GLOBAL ID：200903012211496944
誘電体膜と誘電体膜の形成方法およびプラズマディスプレイパネル
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 坂口 智康
, 内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-198393
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039586
出願日： 2002年07月08日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】従来の酸化マグネシウム保護膜の形成方法では、ガラス基板の歪点以下で焼成してもペースト中に含まれる有機物を完全に分解除去できず、保護膜としての機能が得られない。また、焼成温度を高温とした場合、製造タクトの低下と高温を維持するために大きな電力を要するという問題や、基板に高価な高歪点ガラスを用いなければならないという問題がある。【解決手段】本発明の誘電体膜形成方法は、誘電体膜材料前駆体と有機化合物を含む液体原料によって、基板上に誘電体膜を形成するものであり、液体原料によって誘電体膜前駆体を形成した後もしくは形成中もしくは焼成中に、エネルギービーム照射もしくはプラズマ照射を行う。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
誘電体膜材料前駆体と,少なくとも1種類以上の有機物とを含んだ有機金属化合物を含む液体原料を用いて基板上に塗布された誘電体膜原料に、エネルギービームを照射した後もしくは照射しながら焼成することを特徴とする誘電体膜の形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
5C027AA06
, 5C040GD09
, 5C040JA02
, 5C040JA22
, 5C040JA23
, 5C040LA17
, 5C040MA23
, 5C040MA26
