ダイシングテープ貼付装置およびバックグラインド・ダイシングテープ貼付システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：石田敬 , 鶴田準一 , 土屋繁 , 西山雅也 , 樋口外治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-204704
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047823
出願日： 2002年07月12日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：

【課題】ノンカットダイシングテープとプリカットダイシングテープの両方に対応できるダイシングテープ貼付装置の実現。【解決手段】ウエハを保持するステージ32と、セットされたノンカットダイシングテープ又はプリカットダイシングテープを供給するダイシングテープ供給機構41と、プリカットダイシングテープが供給される時に先端位置を検出する先端位置検出器44と、ノンカットダイシングテープ又はプリカットダイシングテープをウエハの裏面に貼り付ける貼付機構45,46,47,48と、ノンカットダイシングテープを所望の形状に切断するカッター60とを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

ダイシングするウエハにダイシングテープを貼り付けるダイシングテープ貼付装置であって、前記ウエハを保持するステージと、ノンカットダイシングテープ及びプリカットダイシングテープをセット可能で、セットされた前記ノンカットダイシングテープ又は前記プリカットダイシングテープを供給するダイシングテープ供給機構と、前記ダイシングテープ供給機構から前記プリカットダイシングテープが供給される時に、前記プリカットダイシングテープの先端位置を検出するプリカットダイシングテープ先端位置検出器と、前記ダイシングテープ供給機構から供給された前記ノンカットダイシングテープ又は前記プリカットダイシングテープを前記ウエハの裏面に貼り付ける貼付機構と、前記ノンカットダイシングテープを貼り付けた時に、前記ノンカットダイシングテープを所望の形状に切断するカッターとを備えることを特徴とするダイシングテープ貼付装置。

IPC (3件)：

H01L21/301 , H01L21/304 , H01L21/68

FI (3件)：

H01L21/78 M , H01L21/304 622J , H01L21/68 N

Fターム (15件)：

5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031DA15 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA11 , 5F031FA12 , 5F031HA78 , 5F031KA13 , 5F031KA14 , 5F031MA22 , 5F031MA23 , 5F031MA34 , 5F031MA37 , 5F031MA39

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-340746
接着シート貼付装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-187413 出願人：リンテック株式会社
半導体装置の製造方法及びテープ貼付剥離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-084217 出願人：株式会社日立製作所

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