電子衝撃加熱装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北條和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-150265
公開番号（公開出願番号）：特開2004-355877
出願日： 2003年05月28日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】加熱プレート2の加熱時の加熱物支持部材1の下端部と加熱プレート2との間の温度差により生じる熱応力を緩和し、加熱プレートの加熱と冷却を繰り返しても、加熱物支持部材が破断することが無いようにする。【解決手段】電子衝撃加熱装置は、フィラメント9で発生した熱電子を加速して加熱プレート2に衝突させて加熱プレート2を発熱させる電子衝撃加熱装置であって、加熱プレート2を天壁とする加熱物支持部材1の周壁が径が異なる上下の多段の周壁部分13a、13bからなり、これらの周壁部分13a、13bがそれらの径方向に延びるリング状の横壁15で連結されている【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フィラメント(9)で発生した熱電子を加速して加熱プレート(2)に衝突させて加熱プレート(2)を発熱させる電子衝撃加熱装置であって、加熱プレート(2)を天壁とする加熱物支持部材(1)の周壁が径が異なる上下の多段の周壁部分(13a)、(13b)からなり、これらの周壁部分(13a)、(13b)がそれらの径方向に延びるリング状の横壁(15)で連結されていることを特徴とする電子衝撃加熱装置。

IPC (4件)：

H05B7/00 , H01L21/02 , H01L21/027 , H05B1/00

FI (4件)：

H05B7/00 Z , H01L21/02 Z , H05B1/00 , H01L21/30 567

Fターム (5件)：

3K058AA34 , 3K058BA19 , 3K058GA01 , 3K084AB00 , 5F046KA04

引用特許：

出願人引用 (7件)

電子加熱ホットプレート装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-402604 出願人：株式会社ムサシノエンジニアリング
板体加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-203581 出願人：助川電気工業株式会社
板体加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161585 出願人：助川電気工業株式会社

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