液封型圧力センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：瀧野秀雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229601
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042883
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】厳しい温度環境下でも、高い圧力検出精度と、優れた安定性、耐久性を示す液封型圧力センサを提供すること。【解決手段】一部壁面をダイヤフラム14により画定された密封室17内のヘッダ部材(ハーメチックガラス)13にセンサチップ40が装着され、密封室17にオイルが封入され、外部よりダイヤフラム14に作用する圧力が密封室17のオイルを介してセンサチップ40の感圧部に伝えられる液封型圧力センサにおいて、センサチップ40が絶対圧タイプのセンサチップであり、センサチップ40のヘッダ部材13に対する装着を、密封室17のオイルとは異種の物質のゲル45により行う。

請求項（抜粋）：

一部壁面をダイヤフラムにより画定された密封室内のヘッダ部材にセンサチップが装着され、前記密封室に液体が封入され、外部より前記ダイヤフラムに作用する圧力が前記密封室の封入液体を介して前記センサチップの感圧部に伝えられる液封型圧力センサにおいて、前記センサチップを絶対圧タイプのセンサチップとし、前記センサチップの前記ヘッダ部材に対する装着が、前記密封室の封入液体とは異種の物質で、前記センサチップの前記感圧部とは反対側の面部と前記ヘッダ部材のチップ装着面部との間で層状をなすゲルによる接着により行われていることを特徴とする液封型圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 19/06 , G01L 9/04 101

FI (2件)：

G01L 19/06 A , G01L 9/04 101

Fターム (9件)：

2F055AA40 , 2F055BB01 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055EE13 , 2F055FF01 , 2F055FF43 , 2F055GG14 , 2F055GG22

引用特許：

審査官引用 (14件)

圧力検出装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-203568 出願人：株式会社デンソー
液封型圧力センサ用圧力検出エレメントおよび液封型圧力センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-297869 出願人：株式会社鷺宮製作所
センサチップの接合構造及びセンサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-174163 出願人：株式会社東海理化電機製作所

全件表示

前のページに戻る