特許
J-GLOBAL ID：200903012512542160
反射防止多層膜とその成膜方法並びにその成膜装置
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-068608
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258004
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】容易に剥離しない耐久性及び撥水性の良い撥水層を備えた反射防止膜を提供すること、およびこの反射防止膜を成膜する方法、並びにこの反射防止膜を安価に作製できる装置を提供する【解決手段】基板1上に屈折率の異なった2種以上の材料で2層以上の反射防止用の光学薄膜3を成膜し、光学薄膜上にC、F、H、N、S、O、Si等から構成される高分子材料の撥水層を成膜した反射防止多層膜2に於いて、光学薄膜と撥水層の間に10Å以下の膜厚でAl、Ti、Si、Nb、Cr、Cu、Mg、Ta、Zrのいずれかから構成される中間層5を設けた。1つの真空槽内に、光学薄膜成膜用の複数の蒸発源又はスパッタ装置、撥水層用の高分子材料の蒸発源又はスパッタ装置、光学薄膜の最上層の薄膜及び撥水層の材料と反応結合する材料から成る中間層用の蒸発源又はスパッタ装置を用意して成膜する。
請求項（抜粋）：
基板上に、屈折率の異なった2種以上の材料で2層以上の反射防止用の光学薄膜を成膜し、該光学薄膜上にC、F、H、N、S、O、Si等から構成される高分子材料の薄膜を撥水層として成膜した反射防止多層膜に於いて、該光学薄膜と撥水層の間に10Å以下の膜厚でAl、Ti、Si、Nb、Cr、Cu、Mg、Ta、Zrのいずれかから構成される中間層を設けたことを特徴とする反射防止多層膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 1/10 A
, C23C 14/08 N
