特許
J-GLOBAL ID：200903012557686448
基板洗浄装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117810
公開番号（公開出願番号）：特開平10-308375
出願日： 1997年05月08日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：
【要約】【課題】 作業性が良く、誰でも簡単に洗浄制御データを装置に指定でき、均一な洗浄を行う。【解決手段】 外部記憶装置54には各種の洗浄条件に応じた洗浄制御データが記憶されている。オペレータが既知の洗浄条件を設定器57から設定すると、制御部50は、設定器57から設定された洗浄条件に応じた洗浄制御データを外部記憶装置54から読み出し、その洗浄制御データに従って各機器を制御して基板を洗浄する。
請求項（抜粋）：
洗浄条件に応じた洗浄制御データに従って基板を洗浄する基板洗浄装置であって、各種の洗浄条件に応じた洗浄制御データを記憶する記憶手段と、洗浄条件を設定する設定手段と、前記設定手段から設定された洗浄条件に応じた洗浄制御データを前記記憶手段から読み出し、その洗浄制御データに従って基板を洗浄する制御手段と、を備えたことを特徴とする基板洗浄装置。
引用特許：
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