特許

J-GLOBAL ID：200903012568653460

光カンチレバーとその製造方法

発明者： 新輪 隆 ,  市原 進 ,  光岡 靖幸 ,  加藤 健二 ,  千葉 徳男 ,  大海 学 ,  笠間 宣行
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-320768
公開番号（公開出願番号）：特開2000-146807
出願日： 1998年11月11日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 微小開口から光を照射および/または検出するSNOM用光カンチレバーであって、量産性、均一性に優れており、柔らかい試料でも損傷を与えることなく高速に観察することができる光カンチレバーを得る。【解決手段】 本発明では、基部1と、前記基部1からのびるカンチレバー部2と、前記カンチレバー部2を貫通し、前記基部とは反対側のカンチレバー上に突出するよう形成され、その先端が先鋭化された誘電体の光伝搬部5および光伝搬ティップ3と、前記先鋭化された誘電体の周りを覆う遮光膜6と、前記先鋭化された誘電体の先端に形成された微小開口4とからなることを特徴とする光カンチレバーとした。

請求項（抜粋）：

基部と、前記基部からのびるカンチレバー部と、前記カンチレバー部を貫通し、前記基部とは反対側のカンチレバー上に突出するように形成され、その先端が先鋭化された誘電体と、前記先鋭化された誘電体の周りを覆う遮光膜と、前記先鋭化された誘電体の先端に形成された微小開口とからなることを特徴とする光カンチレバー。

IPC (3件)：

G01N 13/16 ,  G01N 13/14 ,  G01B 21/30

FI (3件)：

G01N 37/00 G ,  G01N 37/00 E ,  G01B 21/30 Z

Fターム (8件)：

2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069JJ15 ,  2F069LL03 ,  2F069LL04 ,  2F069MM38

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 集積型SPMセンサ及び走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-164576   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平1-262403
  
• 集積型SPMセンサ及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-045639   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• プローブ製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-044553   出願人：富士通株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡および走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332323   出願人：株式会社ニコン

引用文献：

審査官引用 (1件)

• Operation of a scanning near field optical microscope in reflection in combination with a scanning f