特許
J-GLOBAL ID:200903012573763770

多点型ガス濃度検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 絹谷 信雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-157010
公開番号(公開出願番号):特開2004-361129
出願日: 2003年06月02日
公開日(公表日): 2004年12月24日
要約:
【課題】多点ガス濃度計測において、計測対象箇所の光路長が変化しても、ガス濃度を安定して高精度に検出できる多点型ガス濃度検出方法を提供することにある。【解決手段】レーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる透過光の強度を検出し、得られた信号からガス濃度を検出するガス濃度検出方法において、レーザ2と受光器5間に光切替器13を接続し、その光切替器13に、ガス雰囲気を通過しない基準光路14を接続すると共に、ガス雰囲気を通過する送受信光路15a〜n,16a〜nにガス検出部17a〜nを設けたガス検出光路18a〜nを複数接続し、各ガス検出光路18a〜nの光路長の違いにより生じる信号の位相ずれをそれぞれ補正して多点のガス濃度を検出するものである。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
レーザ光を測定対象とするガス雰囲気に通して得られる透過光の強度を検出し、得られた信号からガス濃度を検出するガス濃度検出方法において、レーザと受光器間に光切替器を接続し、その光切替器に、ガス雰囲気を通過しない基準光路を接続すると共に、ガス雰囲気を通過する送受信光路にガス検出部を設けたガス検出光路を複数接続し、各ガス検出光路の光路長の違いにより生じる信号の位相ずれをそれぞれ補正して多点のガス濃度を検出することを特徴とする多点型ガス濃度検出方法。
IPC (1件):
G01N21/39
FI (1件):
G01N21/39
Fターム (12件):
2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC13 ,  2G059EE01 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059MM14 ,  2G059PP06
引用特許:
審査官引用 (5件)
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