特許
J-GLOBAL ID:200903012776223615
共重合体、樹脂組成物、保護膜および保護膜の形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大島 正孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-123104
公開番号(公開出願番号):特開2006-176746
出願日: 2005年04月21日
公開日(公表日): 2006年07月06日
要約:
【課題】 平坦性の高い硬化膜を形成することができ、しかも、透明性および表面硬度が高く、耐熱耐圧性、耐酸性、耐アルカリ性、耐スパッタ性、耐エッチング性などの各種の耐性に優れた光デバイス用保護膜を形成するために好適に用いられ、かつ組成物としての保存安定性に優れる組成物、その上記組成物を用いた保護膜の形成方法、および上記組成物より形成された保護膜を提供すること。【解決手段】 組成物は(a1)オキシラニル基またはオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物、(a2)1-ジエチルプロピタルメタクリレートに代表される特定構造を有する重合性不飽和化合物に由来する重合単位および(a3)上記重合単位(a1)、(a2)と異なる重合単位を含有してなる共重合体を含有する。保護膜は上記組成物より形成される。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
〔A-1〕(a1)オキシラニル基またはオキセタニル基を有する重合性不飽和化合物に由来する重合単位ならびに(a2)下記式(01)
IPC (4件):
C08F 220/26
, C08G 59/40
, C08L 33/14
, G02B 5/20
FI (4件):
C08F220/26
, C08G59/40
, C08L33/14
, G02B5/20 101
Fターム (47件):
2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BB37
, 2H048BB42
, 4J002BG05X
, 4J002BG07W
, 4J002CD00Y
, 4J002CD01Y
, 4J002CD03Y
, 4J002CD05Y
, 4J002CD06Y
, 4J002CD07Y
, 4J002EN136
, 4J002EV296
, 4J002EV326
, 4J002EW176
, 4J002FD146
, 4J002GG00
, 4J036AF03
, 4J036AF06
, 4J036AK11
, 4J036GA02
, 4J036GA03
, 4J036GA04
, 4J100AB02Q
, 4J100AB02R
, 4J100AJ02T
, 4J100AL04Q
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100AL08S
, 4J100AL10P
, 4J100AM45S
, 4J100BA11Q
, 4J100BC03P
, 4J100BC03Q
, 4J100BC12R
, 4J100BC12S
, 4J100BC53Q
, 4J100CA01
, 4J100CA03
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100CA06
, 4J100JA32
, 4J100JA58
引用特許:
出願人引用 (10件)
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保護膜材料
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-269110
出願人:日本合成ゴム株式会社
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カラーフィルター保護膜用組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-215820
出願人:新日鐵化学株式会社, 日本油脂株式会社
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特開平4-218561号公報
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審査官引用 (1件)
-
レジスト組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-023212
出願人:住友化学工業株式会社
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