振動研磨方法およびその装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長瀬成城
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-331511
公開番号（公開出願番号）：特開2005-096016
出願日： 2003年09月24日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】微小回転工具の限界を超えて、より微小な非球面への仕上げに適応でき、工具の微小化が容易で加工圧の制御も容易な振動研磨方法およびその装置を提供することを目的とする。【解決手段】微小な曲面形状を有する工作物表面に微小工具を押し付けて工作物表面を研磨する研磨方法において、前記微小な曲面形状に軟質の非回転工具(ポリシャ)を一定圧力で押し付けるとともに、加工面に対して平行な方向に前記非回転工具に超音波振動を与え、その接触部に砥粒を分散させた液体をかけながら研磨するようにしたので、工具を回転する必要がなく、工具の微小化が可能となって、修正研磨できる限界径を限りなく小さくでき、超音波振動により加工面に供給された液体中の砥粒が分散して、より効果的に超精密加工が可能となる上に、加工圧の制御も容易となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

微小な曲面形状を有する工作物表面に微小工具を押し付けて工作物表面を研磨する研磨方法において、前記微小な曲面形状に軟質の非回転工具を一定圧力で押し付けるとともに、加工面に対して平行な方向に前記非回転工具に超音波振動を与え、その接触部に砥粒を分散させた液体をかけながら研磨することを特徴とする振動研磨方法。

IPC (3件)：

B24B35/00 , B24B1/04 , B24B37/00

FI (3件)：

B24B35/00 , B24B1/04 B , B24B37/00 E

Fターム (21件)：

3C049AA07 , 3C049AA11 , 3C049AA16 , 3C049AC02 , 3C049BA09 , 3C049BB02 , 3C049BC02 , 3C049CA03 , 3C049CB04 , 3C049CB05 , 3C058AA07 , 3C058AA11 , 3C058AA16 , 3C058AC02 , 3C058BA09 , 3C058BB02 , 3C058BC02 , 3C058CA03 , 3C058CB04 , 3C058CB05 , 3C058DA10

引用特許：

出願人引用 (1件)

研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-318625 出願人：株式会社リコー

審査官引用 (6件)

特開平3-234451
特開昭49-108695
研磨方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-031219 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

超音波援用マイクロ非球面研磨に関する研究(第1報)

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