テーブルの自由運動機構

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-144065
公開番号（公開出願番号）：特開2005-209139
出願日： 2004年05月13日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：

【課題】テーブルの運動方向の剛性を向上させることのできる、テーブルの自由運動機構およびテーブルの自由運動システムを提供する。【解決手段】 XYθステージ1に、3つのテーブル運動機構11、12、14および1つのテーブル運動制止機構13を備え、テーブル運動機構11とテーブル運動制止機構13とが対向すると共に双方の軸方向が平行であり、テーブル運動機構12とテーブル運動機構14とが対向すると共に双方の軸方向が平行であって、テーブル運動機構11およびテーブル運動制止機構13の軸方向と、テーブル運動機構12およびテーブル運動機構14の軸方向とが、直交するように構成する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

同一平面上で支持台と相対的に自由運動するテーブルと、テーブルと対向してテーブルを支持する支持台と、同一平面上でテーブルが支持台と相対的に自由運動するよう、テーブルを駆動する複数のテーブル運動手段と、テーブルの自由運動を制止する制止手段と、を備えたことを特徴とするテーブルの自由運動機構。

IPC (1件)：

G05D3/00

FI (1件)：

G05D3/00 Q

Fターム (10件)：

5H303BB02 , 5H303BB08 , 5H303DD03 , 5H303DD24 , 5H303KK02 , 5H303KK03 , 5H303KK17 , 5H303KK29 , 5H303LL03 , 5H303QQ08

引用特許：

出願人引用 (1件)

ステージの縦横移動旋回支持機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-313920 出願人：廣瀬和也

審査官引用 (5件)

ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-161070 出願人：ウシオ電機株式会社
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-174093 出願人：株式会社ニコン
位置決めテーブル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-169569 出願人：株式会社ニコン

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