特許
J-GLOBAL ID：200903013131238053

荷電粒子線装置

発明者：
森田 一弘

森田 一弘 について

, 
辻 浩志

辻 浩志 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (2件)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-107308
公開番号（公開出願番号）：特開2006-286503
出願日： 2005年04月04日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：
【課題】本発明は、高精度な制振性能を有する荷電粒子線装置を提供することを目的とする。【課題手段】本発明は、定盤および試料室の振動を検知する第1の検知センサーと、鏡体の振動を検知する第2の検知センサーと、定盤に抑制振動を加えるアクチュエーターと、抑制振動の駆動量を計算する演算制御部とを有する荷電粒子線装置において、演算制御部は第1の検知センサーおよび第2の検知センサーの検知信号に基づいて、鏡体の振動と定盤および試料室の振動とを抑制する抑制振動の駆動量を状態フィードバック制御則により求めることを特徴とする。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
荷電粒子線発生源や電子光学系が収まる鏡体と、上側に前記鏡体を締結し、かつ荷電粒子線が照射される試料を載置するステージを内部に置く試料室と、上側に前記試料室を締結する定盤と、前記定盤および前記試料室の振動を検知する第1の検知センサーと、前記鏡体の振動を検知する第2の検知センサーと、前記定盤に抑制振動を加えるアクチュエーターと、前記抑制振動の駆動量を計算する演算制御部とを有する荷電粒子線装置において、 前記演算制御部は、前記第1の検知センサーおよび前記第2の検知センサーの検知信号に基づいて、前記鏡体の振動と前記定盤および前記試料室の振動とを抑制する前記抑制振動の駆動量を状態フィードバック制御則により求めることを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (3件)：
H01J 37/26 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/305
FI (3件)：
H01J37/26 ,  H01J37/28 B ,  H01J37/305 B
Fターム (3件)：
5C033SS10 ,  5C033UU10 ,  5C034BB10
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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