特許
J-GLOBAL ID:200903053455900265

アクティブ除振方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 前田 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-303783
公開番号(公開出願番号):特開2003-108236
出願日: 2001年09月28日
公開日(公表日): 2003年04月11日
要約:
【要約】【課題】 空気ばね式アイソレータ2のベースプレート10の加速度x0′′を加速度センサ33により検出し、この検出値に基づいて空気ばねSvの空気圧を調整することで、該ベースプレート21に対し基礎から伝達する振動と逆位相の制御振動を付加するフィードフォワード方式のアクティブ除振方法において、その実行に係る作業の容易化を図る。【課題手段】 空気ばねSvのピストン13にジンバル機構を組み込んで、上下及び水平の両方向について広い周波数域に亘り基本的に優れた除振性能を得る。サーボ弁34の作動制御により空気ばねSvの空気圧を調整して、アイソレータ2のトッププレート21に制御振動を付加する。ベースプレート10からトッププレート21に至る振動伝達系路のばね定数Kと減衰係数Cとをそれぞれ求め、サーボ弁34の特性を反映する比例定数αとラプラス演算子sとを用いて、加速度x0′′の検出値に対応するフィードフォワード補正量Uffを、Uff = α×{(Cs+K)/s2}×x0′′ とする。
請求項(抜粋):
被支持体を基礎に対して弾性的に支持するとともに、該基礎の振動状態を検出し、この検出値に基づいてアクチュエータを制御して、前記被支持体に対し基礎から伝達する振動と逆位相の制御振動を付加するアクティブ除振方法において、前記基礎から被支持体までの振動伝達系路のばね定数Kと減衰係数Cとをそれぞれ求め、前記ばね定数K及び減衰係数Cと、予め設定した比例定数αと、ラプラス演算子sとを用いて、前記基礎の振動状態の検出値Xに対応するアクチュエータへの制御量Uffを表す関係式:Uff = α×{(Cs+K)/s2}×Xを求め、前記関係式に基づいてアクチュエータへの制御出力を演算することを特徴とするアクティブ除振方法。
IPC (2件):
G05D 19/02 ,  F16F 15/02
FI (2件):
G05D 19/02 D ,  F16F 15/02 A
Fターム (7件):
3J048AA01 ,  3J048AB15 ,  3J048AD03 ,  3J048BE02 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13
引用特許:
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る