特許
J-GLOBAL ID：200903013431596474

走査型電子顕微鏡

発明者：
小沢 康彦

小沢 康彦 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-202458
公開番号（公開出願番号）：特開2009-037939
出願日： 2007年08月03日
公開日（公表日）： 2009年02月19日
要約：
【課題】 本発明は、半導体パターンやコンタクトホールの変形や側壁の傾斜のできばえを判定することができる走査型電子顕微鏡を提供することを目的とする。【解決手段】 半導体ウェーハ上に形成された回路パターンの画像をあらかじめ設定された条件で撮像する撮像手段、該撮像手段で撮像された画像と予め記憶された基準画像とを比較して撮像された画像の特徴量を算出する算出手段,該算出手段で算出された特徴量に基づいて、半導体ウェーハのできばえ評価を実行するコンピュータを備え、特徴量の算出は、2次電子画像,反射電子画像に関して独立に行われる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
半導体ウェーハ上に形成された回路パターンの画像をあらかじめ設定された条件で撮像する撮像手段、該撮像手段で撮像された画像と予め記憶された基準画像とを比較して前記撮像された画像の特徴量を算出する算出手段、該算出手段で算出された前記特徴量に基づいて、前記半導体ウェーハのできばえ評価を実行するコンピュータを備え、前記特徴量の算出は、2次電子画像,反射電子画像に関して独立に行われることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (5件)：
H01J 37/22 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66 ,  G01N 23/225 ,  G01B 15/04
FI (5件)：
H01J37/22 502H ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J ,  G01N23/225 ,  G01B15/04 K
Fターム (41件)：
2F067AA13 ,  2F067AA33 ,  2F067AA53 ,  2F067BB04 ,  2F067CC15 ,  2F067CC17 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR12 ,  2F067RR35 ,  2F067RR42 ,  2F067RR44 ,  2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001BA30 ,  2G001CA03 ,  2G001DA06 ,  2G001FA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001JA16 ,  2G001KA03 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001QA01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB02 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  5C033UU05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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