特許
J-GLOBAL ID：200903013452204738

カラーフィルタ形成基板の異物検査方法およびカラーフィルタ形成基板の異物検査装置

発明者：
長谷川 潤

長谷川 潤 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-126852
公開番号（公開出願番号）：特開2006-300892
出願日： 2005年04月25日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】 ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板に対し、ブラックマトリクス上の異物を検査する場合に、着色層の形状に左右されず、異物欠陥を検出できるカラーフィルタ形成基板の異物検査方法およびカラーフィルタ形成基板の異物検査装置を提供する。【解決手段】 カラーフィルタ形成基板の所定領域のカラーフィルタ部を、反射暗視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第1の欠陥候補部抽出処理と、前記所定領域のカラーフィルタ部を、反射明視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第2の欠陥候補部抽出処理とを行い、第1の欠陥候補部抽出処理と、第2の欠陥候補部抽出処理との両方で共に欠陥候補部として抽出された箇所の欠陥候補部を、新たに欠陥として抽出する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
その一面に、カラーフィルタ部を形成するための各色の着色層が、カラーフィルタ部の各色の着色画素間のブラックマトリクス上に、該各色の着色画素からはみ出て、あるいは、跨ぐように形成されている、ディスプレイパネル用のカラーフィルタ形成基板に対し、ブラックマトリクス上の異物を検査する異物検査方法であって、前記カラーフィルタ形成基板の所定領域のカラーフィルタ部を、反射暗視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第1の欠陥候補部抽出処理と、前記所定領域のカラーフィルタ部を、反射明視野照明にて撮影して得られた撮影画像データから、得られた2値化画像データを用いて欠陥候補部を抽出する第2の欠陥候補部抽出処理とを行い、第1の欠陥候補部抽出処理と、第2の欠陥候補部抽出処理との両方で共に欠陥候補部として抽出された箇所の欠陥候補部を、新たに欠陥として抽出することを特徴とするカラーフィルタ形成基板の異物検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G02F 1/133 ,  G06T 1/00
FI (3件)：
G01N21/956 Z ,  G02F1/1335 505 ,  G06T1/00 300
Fターム (42件)：
2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BB01 ,  2G051BB03 ,  2G051BB05 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA09 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED01 ,  2G051ED08 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FC30 ,  2H091FD04 ,  2H091LA03 ,  2H091LA12 ,  2H091LA15 ,  5B057AA02 ,  5B057CA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB01 ,  5B057CB06 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE12 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC32
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 容器検査機
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-220355   出願人：エムハート・グラス・マシーナリー・インベストメンツ・インコーポレーテッド
審査官引用 (12件)
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