透明積層体の検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-378353
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181734
出願日： 2000年12月13日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】透明積層体を構成する複数の透明体のいずれの層間に異物が存在するかを知ることができるとともに、精度の高い検査をすることができる透明積層体の検査装置を提供する。【解決手段】透明体が積層された透明積層体に対して光を照射する照射装置と、上記透明積層体を正面から撮像する撮像装置と、上記撮像装置により得られた画像データを処理するための画像データ処理手段と、を備えた透明積層体の検査装置であって、上記照射装置は、上記透明積層体を、その表面から裏面に向けて、上記透明体の積層方向に対して所定角度で透過するレーザ光を照射し、上記撮像装置は、マトリクス状に配置された複数の光電変換セルを有する固体撮像素子を有し、上記固体撮像素子は、上記各光電変換セルが直接あるいは被膜のみを介して光を受光するように構成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

シート状の透明体が複数枚積層された透明積層体に対して光を照射する照射装置と、上記透明積層体からの反射光をこの透明積層体の正面から撮像する撮像装置と、上記照射装置および上記撮像装置と上記透明積層体とを相対的に移動させる移送装置と、上記撮像装置により得られた画像データを処理するための画像データ処理手段と、を備えた透明積層体の検査装置であって、上記照射装置は、上記透明積層体を、その表面から裏面に向けて、上記透明体の積層方向に対して所定角度で透過するレーザ光を照射し、上記撮像装置は、マトリクス状に配置された複数の光電変換セルを有する固体撮像素子と、上記透明積層体からの反射光を上記固体撮像素子上に集光しうる集光レンズ体とを有し、上記固体撮像素子は、上記各光電変換セルが直接あるいは被膜のみを介して光を受光するように構成されていることを特徴とする、透明積層体の検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/958 , G01B 11/30 , G01M 11/00 , G02F 1/13 101

FI (5件)：

G01N 21/958 , G01B 11/30 Z , G01B 11/30 H , G01M 11/00 T , G02F 1/13 101

Fターム (43件)：

2F065AA01 , 2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065BB17 , 2F065BB22 , 2F065CC25 , 2F065DD09 , 2F065FF42 , 2F065GG04 , 2F065GG22 , 2F065HH05 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065JJ18 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL06 , 2F065LL10 , 2F065LL30 , 2F065MM03 , 2F065PP05 , 2F065PP12 , 2F065QQ24 , 2F065QQ28 , 2F065SS02 , 2F065SS13 , 2G051AA90 , 2G051AB06 , 2G051BA10 , 2G051BB09 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CC09 , 2G051DA01 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G086EE10 , 2H088FA11 , 2H088FA30 , 2H088HA24 , 2H088MA20

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体等における欠陥の検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-145132 出願人：三井金属鉱業株式会社
透明物質を検査するための方法と装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-509708 出願人：トムソン-セエスエフ
特開平4-024541

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