塗布装置及びこれを使用する塗布方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土井育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-083939
公開番号（公開出願番号）：特開平10-277464
出願日： 1997年04月02日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：

【要約】【課題】エクストルージョン型の塗布装置で額縁塗りを行うに際して、両サイドの膜厚の盛り上がりを抑制しつつ、エンドの直線性を保つ。【解決手段】基板を載置するための平面状のステージと、液送り機構から液送部を通って塗工液が供給されつつ基板上を間隔を置いて走行する塗布ヘッドとからなり、塗布ヘッドは分離可能なダイ上板とダイ下板とを有し、これらダイ上板とダイ下板とにより、塗工液の流入する入口と、塗工液が幅方向に広がる拡散部と、塗工液が押し出される一定厚みのスロット部とが形成され、さらにスロット部の両サイドに塗布幅調節のためのシム板を有してなる塗布装置において、内側端面aを塗布面に向かって広がる方向に限定された角度範囲にて傾斜させたシム板22を使用する。内側端面をさらに塗布方向に対しても広がる方向に傾斜させるのが好ましい。

請求項（抜粋）：

基板を載置するための平面状のステージと、液送り機構から液送部を通って塗工液が供給されつつ基板上を間隔を置いて走行する塗布ヘッドとからなり、塗布ヘッドは分離可能なダイ上板とダイ下板とを有し、これらダイ上板とダイ下板とにより、塗工液の流入する入口と、塗工液が幅方向に広がる拡散部と、塗工液が押し出される一定の厚みのスロット部とが形成され、さらにスロット部の両サイドに塗布幅調節のためのシム板を有してなる塗布装置において、内側端面を塗布面に向かって広がる方向に限定された角度範囲にて傾斜させたシム板を使用したことを特徴とする塗布装置。

IPC (4件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 , B05D 1/32 , B05D 7/24 303

FI (4件)：

B05C 5/02 , B05D 1/26 Z , B05D 1/32 Z , B05D 7/24 303 B

引用特許：

審査官引用 (8件)

流体塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-154409 出願人：平田機工株式会社, シプレイ・ファーイースト株式会社
ダイコーティング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-191247 出願人：三菱化学株式会社
被覆ホッパ用の装入具
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-055889 出願人：イーストマンコダックカンパニー

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