特許
J-GLOBAL ID：200903054509723379
極端紫外光光源装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-377186
公開番号（公開出願番号）：特開2007-179881
出願日： 2005年12月28日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】排気装置やデブリトラップが大掛かりにならず、容易に放電部側とEUV集光鏡側に所望の圧力差を設定することが可能なEUV光源装置を提供すること。【解決手段】チャンバ1は、放電空間とEUV集光鏡3aが設けられた集光空間に仕切られ、その間に開口15aを有するアパーチャ部材15が設けられ、アパーチャ部材15は冷却される。第1、第2の放電電極2a,2bが回転し、SnまたはLiにレーザ光が照射され、第1、第2の放電電極2a,2b間にパルス電力が印加されると、放電が発生し両電極2a,2b間には高密度高温プラズマが形成され波長13.5nmのEUV光が放射される。EUV光は、EUV光集光部3に入射し、EUV光集光部3で集光され露光装置の照射光学系へ導かれる。放電空間と集光空間を排気する第1、第2の排気装置5-1,5-2が設けられ、放電空間は数Pa、集光空間は数100Paに維持される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
容器と、
上記容器内に配置される、円盤状の2つの電極が一定間隔離間してなる一対の放電電極と、
上記一対の放電電極の少なくとも一方に極端紫外光を放射する液体または固体状の原料を供給する原料供給手段と、
少なくとも上記原料が供給される側の放電電極を回転させる放電電極回転機構と、
上記放電電極に供給された原料を気化させる気化手段と、
上記一対の電極間に電力を供給する電力供給手段と、
上記気化した原料が上記電極間で発生する放電により加熱・励起されて生成する高密度高温プラズマから放射される極端紫外光を集光する集光鏡とを備えた極端紫外光光源装置において、
上記容器内において、上記一対の電極と上記集光鏡との間に、上記容器を電極が設けられている領域と、集光鏡が設けられている領域に仕切る、開口を有するアパーチャ部材と、
上記アパーチャ部材を冷却する機構と、
上記2つの領域のうち、少なくとも電極が設けられている領域に排気手段を備えている
ことを特徴とする極端紫外光光源装置。
IPC (4件)：
H05G 2/00
, G21K 5/02
, H01L 21/027
, G03F 7/20
H05G1/00 K
, G21K5/02 X
, H01L21/30 531S
, G03F7/20 521
4C092AA04
, 4C092AA06
, 4C092AA17
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD17
, 4C092BD18
, 4C092BD19
, 5F046GA03
, 5F046GC03
出願人引用 (2件)
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伸張可能な薄膜を備える汚染バリヤ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-426987
出願人：エイエスエムエルネザランドズベスローテンフエンノートシャップ
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国際公開第2005/025280号パンフレット
審査官引用 (9件)
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