特許
J-GLOBAL ID：200903013823552335
薄膜積層基板用シートならびに薄膜積層基板、およびそれらの製造方法ならびに製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-025411
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219590
出願日： 1996年02月13日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】微細配線および多様な構造が可能な、信頼性の高い薄膜積層基板の安価かつ容易な製造。【解決手段】長尺物の金属箔2の表面に、感光性樹脂を用いてスルーホール10を備える絶縁膜4を形成し、長尺物の複合シート4bとする((a)〜(d))。これにビア配線36、平面配線2aを形成した後、裁断して配線シート4eを得る((e)〜(k))。この配線シート4eを接着シートを介して積層し、多層積層基板を得る((l)〜(m))。
請求項（抜粋）：
絶縁材料からなる絶縁膜と、上記絶縁膜を貫通する柱状の導体からなるビア配線と、上記絶縁膜の表裏のうち少なくとも一方の面に形成された平面配線とを備え、上記絶縁材料は、感光性樹脂組成物の硬化物であることを特徴とする薄膜積層基板用シート。
FI (3件)：
H05K 3/46 T
, H05K 3/46 E
, H05K 3/46 N
