機能素子の製造方法および機能素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石井陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-252841
公開番号（公開出願番号）：特開2002-074654
出願日： 2000年08月23日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】互いに孤立した微小な磁性体が記録ビットを構成するパターンド媒体において、極めて微小でかつ形状の揃った孤立磁性体を設けることにより、高記録密度を実現すると共に、孤立磁性体の特性ばらつきを軽減する。また、上記孤立磁性体と同様に極めて微小でかつ形状の揃った機能体を備える機能素子を提供する。【解決手段】単結晶からなる基板上に、機能性材料から構成される孤立機能体を少なくとも1つ有する機能素子を製造する方法であって、線状機能体を形成する工程と、この線状機能体の一部を除去することにより、この線状機能体の長軸方向を短縮して前記孤立機能体を形成する工程とを有する機能素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に、機能性材料から構成される孤立機能体を少なくとも1つ有する機能素子を製造する方法であって、線状機能体を形成する工程と、この線状機能体の一部を除去することにより、この線状機能体の長軸方向を短縮して前記孤立機能体を形成する工程とを有する機能素子の製造方法。

IPC (9件)：

G11B 5/855 , G11B 5/31 , G11B 5/39 , G11B 5/65 , H01F 10/26 , H01F 41/34 , H01L 43/08 , H01L 43/12 , H01F 10/20

FI (9件)：

G11B 5/855 , G11B 5/31 C , G11B 5/39 , G11B 5/65 , H01F 10/26 , H01F 41/34 , H01L 43/08 Z , H01L 43/12 , H01F 10/20

Fターム (31件)：

5D006BB01 , 5D006BB07 , 5D006CB04 , 5D006CB07 , 5D006DA04 , 5D006EA02 , 5D033BA07 , 5D033BA51 , 5D033DA01 , 5D033DA05 , 5D033DA07 , 5D033DA31 , 5D034BA02 , 5D034BA16 , 5D034CA06 , 5D034DA07 , 5D112AA02 , 5D112AA05 , 5D112AA16 , 5D112BA02 , 5D112BA04 , 5D112BA09 , 5D112BB01 , 5D112FA09 , 5E049AB03 , 5E049AB09 , 5E049BA06 , 5E049BA12 , 5E049DB04 , 5E049DB10 , 5E049HC01

引用特許：

審査官引用 (12件)

磁気抵抗効果型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-021534 出願人：日本ビクター株式会社
量子素子及びその作製法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-035966 出願人：日本電子株式会社
特表平7-504784

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Feナノワイヤーアレイの作製と磁気抵抗効果

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