特許
J-GLOBAL ID：200903014071867249
角速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-040087
公開番号（公開出願番号）：特開2004-251663
出願日： 2003年02月18日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：
【課題】感度よく回転角速度を検知できる角速度センサを提供する。【解決手段】支持部11と第1アーム12a,12bと第2アーム13a,13bとを有するH型振動子10を備えた角速度センサ101において、第1アーム12a,12b及び第2アーム13a,13bの根元を細くすることで、この部分の剛性を低下させる。具体的には、根元に溝21〜24,31〜34を形成する。若しくは、第1及び第2アーム12a,12b,13a,13bを支持する支持部11に、中心Cに対して点対称の穴25,26を設け、支持部11の剛性を低下させる。このほか、各アーム若しくは支持部11を挟むように駆動用圧電素子40a,40b、検出用圧電素子50a,50b,60a,60bを形成することで、駆動効率の向上及び差動信号によるS/N比の向上を図る。【選択図】 図8
請求項（抜粋）：
長手方向に対して平行で且つ互いに平行な2面を含む少なくとも2本の第1の腕部と該第1の腕部を振動させるための第1の圧電素子とを含む振動部と、長手方向に対して平行で且つ互いに平行な2面を含む少なくとも2本の第2の腕部と該第2の腕部に発生した振動を検出するための第2の圧電素子とを含む検出部とを有する角速度センサにおいて、
前記第1及び第2の腕部と一体形成された支持部を有し、
前記第1及び第2の腕部の少なくとも一方における前記支持部側の端が該第1又は第2の腕部の胴体幅よりも細くなっていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (3件)：
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 Z
2F105AA02
, 2F105AA06
, 2F105AA08
, 2F105BB02
, 2F105BB13
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
審査官引用 (5件)
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圧電振動体
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-341439
出願人：京セラ株式会社
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半導体振動ジャイロ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-036565
出願人：日本電気ホームエレクトロニクス株式会社
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振動子および角速度センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-264250
出願人：トヨタ自動車株式会社, 株式会社豊田中央研究所
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