静電浮上搬送装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-196262
公開番号（公開出願番号）：特開2000-025948
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板の静電気を確実に除電でき、ゴミやほこりが付着することのない小型の静電浮上搬送装置を提供する。【解決手段】静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dとガラス基板1のギャップを検出する変位センサ3A、3B、3C、3Dと、変位センサ3A、3B、3C、3Dから得られた検出値を予め設定された目標値と比較してその偏差を演算処理することによりガラス基板1が目標位置に浮上できるように静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dへの印加電圧を制御する浮上用制御器5と、浮上用制御器5からの制御信号により各々の静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dに印加する電圧を発生する浮上用電圧発生器4とを備えた静電浮上搬送装置において、浮上用電圧発生器4の前段には、静電浮上用電極2A、2B、2C、2Dに交番電界を印加するための除電信号を発生する除電信号発生器6を設けたものである。

請求項（抜粋）：

絶縁基板上に分離帯を挟んで複数に分割されて配置された正電圧と負電圧が交互に印加される静電浮上用電極と、前記静電浮上用電極と対向して設けた被搬送物をなすガラス基板と、前記静電浮上用電極と前記ガラス基板とのギャップを検出する変位センサと、前記変位センサから得られた検出値を予め設定された目標値と比較してその偏差を演算処理すると共に、前記ガラス基板が目標位置に浮上できるように前記静電浮上用電極への印加電圧を制御する浮上用制御器と、前記浮上用制御器からの制御信号により前記各々の静電浮上用電極に印加する電圧を発生する浮上用電圧発生器と、前記ガラス基板を静電吸引力により吸引した後、非接触で保持して搬送を行い、且つ、前記ガラス基板が予定された位置に至ると、ガラス基板を前記静電浮上用電極より離脱させる動作を行う搬送手段と、を備えた静電浮上搬送装置において、前記浮上用電圧発生器の前段に、前記静電浮上用電極に交番電界を印加するための除電信号を発生する除電信号発生器を設けたことを特徴とする静電浮上搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 49/06 , B25J 15/06 , H01L 21/68 , B65G 54/02

FI (5件)：

B65G 49/06 Z , B25J 15/06 S , B25J 15/06 B , H01L 21/68 A , B65G 54/02

Fターム (20件)：

3F021AA05 , 3F021BA02 , 3F021CA04 , 3F021CA05 , 3F021DA06 , 3F061AA01 , 3F061CA06 , 3F061CB01 , 3F061CC00 , 3F061DB00 , 3F061DC00 , 3F061DD01 , 5F031AA02 , 5F031CC51 , 5F031GG12 , 5F031KK05 , 5F031KK07 , 5F031LL03 , 5F031LL07 , 5F031MM06

引用特許：

審査官引用 (10件)

静電浮上式リニアモータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-306150 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー
特開平1-112745
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-108329 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

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