スピンバルブ構造およびその形成方法ならびにCPP-GMR再生ヘッド

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三反崎泰司 , 藤島洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-257930
公開番号（公開出願番号）：特開2007-088483
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】より高い信号検出感度を維持しつつ、エレクトロマイグレーションの発生を抑制することのできるスピンバルブ構造を提供する。【解決手段】ピンド層20は、フリー層27の側から第1強磁性層18と結合層17と第2強磁性層16とが順に積層されたシンセティック構造を有するものである。第2強磁性層16は、面心立方構造を有するCoFeからなる第1および第2の強磁性膜13,15と、それらに挟まれた、Fe50 Co50 やFe70 Co30 などからなる中間膜14とを有する。第1および第2の強磁性膜13,15における他の層との界面は(111)面となっており、中間膜14からの鉄原子やコバルト原子などの拡散が抑制される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フリー層と、前記フリー層の側から第1の強磁性層と結合層と第2の強磁性層とが順に積層されたピンド層と、前記フリー層およびピンド層の間に位置する非磁性スペーサ層とを含み、前記第2の強磁性層は、前記フリー層と反対の側から順に積層された、面心立方構造を有するコバルト鉄合金(CoFe)を含む第1の強磁性膜と、鉄合金を含む中間膜と、面心立方構造を有するコバルト鉄合金を含む第2の強磁性膜との積層構造を有していることを特徴とするスピンバルブ構造。

IPC (7件)：

H01L 43/08 , H01L 43/10 , G11B 5/39 , H01F 10/16 , H01F 10/32 , H01F 10/30 , H01F 41/18

FI (8件)：

H01L43/08 M , H01L43/10 , G11B5/39 , H01L43/08 Z , H01F10/16 , H01F10/32 , H01F10/30 , H01F41/18

Fターム (39件)：

5D034BA03 , 5D034BB08 , 5E049AA01 , 5E049AA04 , 5E049BA12 , 5E049CB02 , 5E049DB12 , 5F092AA08 , 5F092AA20 , 5F092AB03 , 5F092AC08 , 5F092AD03 , 5F092AD12 , 5F092BB03 , 5F092BB10 , 5F092BB17 , 5F092BB22 , 5F092BB23 , 5F092BB31 , 5F092BB35 , 5F092BB42 , 5F092BB53 , 5F092BC03 , 5F092BC04 , 5F092BC07 , 5F092BC13 , 5F092BC14 , 5F092BC18 , 5F092BC19 , 5F092BC22 , 5F092BC46 , 5F092BE13 , 5F092BE21 , 5F092BE24 , 5F092BE27 , 5F092CA02 , 5F092CA15 , 5F092CA23 , 5F092CA25

引用特許：

出願人引用 (4件)

米国特許第5715121号明細書
米国特許第6208492号明細書
米国特許第6903904号明細書

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審査官引用 (5件)

交換結合膜、スピンバルブ膜、薄膜磁気ヘッド、磁気ヘッド装置及び磁気記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-263199 出願人：TDK株式会社
磁気抵抗効果素子及び薄膜磁気ヘッド
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-176932 出願人：TDK株式会社
磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド及び磁気再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-344030 出願人：株式会社東芝

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