特許
J-GLOBAL ID：200903014382260011
研磨パッドのドレッシング方法及び製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
須藤 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-324898
公開番号（公開出願番号）：特開2005-088128
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 本発明は、非破壊的なパッド評価方法によって、最適なドレッシングのエンドポイントを定量的に検出する方法を提供する。【解決手段】 研磨パッド11を所定時間ドレッシングし(ステップ50)、その後、研磨パッド11の表面粗さ(凹凸)をレーザーフォーカス変位計から成る光学的測定装置20により測定する(ステップ51)。そして、ドレッシング時間と研磨パッド11の表面粗さとの特性曲線を取得する(ステップ52)。次に、上記ドレッシング時間と表面粗さとの特性曲線の傾き求め(ステップ53)、その傾きが、予め設定した所定の傾きに達した場合、ドレッシングを終了する。一方、上記ドレッシング時間と表面粗さとの特性曲線の傾きが、所定の傾きに達しない間は、ステップ50からステップ53を繰り返し実行する(ステップ54)。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
研磨パッドを所定時間ドレッシングし、その後該研磨パッドの表面粗さを光学的測定手段により測定する工程を繰り返し、
前記研磨パッドの表面粗さのドレッシング時間に対する特性曲線の傾きが、所定の傾きに達した時に、ドレッシングを終了することを特徴とする研磨パッドのドレッシング方法。
IPC (3件)：
B24B37/00
, B24B53/00
, B24B53/02
B24B37/00 A
, B24B53/00 A
, B24B53/02
3C047AA01
, 3C047AA34
, 3C047FF08
, 3C058AA07
, 3C058AA19
, 3C058AC02
, 3C058CB01
, 3C058CB03
, 3C058DA17
