特許

J-GLOBAL ID：200903014642565792

感放射線組成物、積層体及びその製造方法並びに電子部品

発明者： 東 広和 ,  寺田 和代 ,  木内 孝司
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社
代理人 (3件)： 山口 巖 ,  駒田 喜英 ,  松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-104228
公開番号（公開出願番号）：特開2005-292276
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月20日
要約：

【課題】放射線に対する感度に優れ、膜厚均一性、凹凸部平坦化性、耐熱形状保持性及び誘電特性にも優れた樹脂膜を形成する感放射線組成物、及び該感放射線組成物からなる塗布膜厚が均一で、凹凸部平坦化性に優れた樹脂膜を基板上に積層してなる積層体を提供する。この感放射線組成物を用いてなる樹脂膜を基板上に形成した積層体、及びこの積層体の製造方法を提供する。【解決手段】プロトン性極性基を有する環状オレフィン系重合体、架橋剤、感放射線化合物及び溶媒を含有してなる感放射線組成物であって、架橋剤が3個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物であり、溶媒がポリアルキレングリコール化合物と窒素含有溶媒とからなる混合溶媒であることを特徴とする感放射線組成物。基板と、その上に上記感放射線組成物を用いて形成された樹脂膜とからなる積層体。

請求項（抜粋）：

プロトン性極性基を有する環状オレフィン系重合体、架橋剤、感放射線化合物及び溶媒を含有してなる感放射線組成物であって、架橋剤が3個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合物であり、溶媒がポリアルキレングリコール化合物溶媒と窒素含有化合物溶媒とを含んでなることを特徴とする感放射線組成物。

IPC (6件)：

G03F7/004 ,  C08G59/40 ,  G03F7/022 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G03F7/004 501 ,  C08G59/40 ,  G03F7/022 ,  G03F7/033 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R

Fターム (41件)：

2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AA18 ,  2H025AB16 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB08 ,  2H025CB30 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025FA29 ,  2H096AA27 ,  2H096AA30 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096EA02 ,  2H096HA01 ,  4J036AF03 ,  4J036AF06 ,  4J036AF08 ,  4J036AJ02 ,  4J036AJ05 ,  4J036AJ08 ,  4J036AJ14 ,  4J036AK03 ,  4J036DB15 ,  4J036DB21 ,  4J036DB23 ,  4J036DC03 ,  4J036DC04 ,  4J036DC05 ,  4J036DC30 ,  4J036DC42 ,  4J036DD04 ,  4J036DD07 ,  4J036HA01 ,  4J036JA08 ,  4J036KA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115846   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-074717   出願人：ジェイエスアール株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、樹脂パターン形成方法、樹脂パターン及びその利用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-354362   出願人：日本ゼオン株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、樹脂パターン形成方法、樹脂パターン及びその利用
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-397644   出願人：日本ゼオン株式会社