特許
J-GLOBAL ID：200903002573894560
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074717
公開番号（公開出願番号）：特開平10-254139
出願日： 1997年03月12日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：
【要約】【課題】 化学増幅型レジストとして、特に放射線に対する透明性、ドライエッチング耐性、膜厚均一性が優れ、しかも基板接着性、感度、解像度、現像性等にも優れたレジストパターンを与える感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)主鎖および/または側鎖に脂環式骨格を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸開裂性基含有樹脂からなり、該酸開裂性基が開裂したときアルカリ可溶性となる樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)直鎖状ケトンと、環状ケトン、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートおよび2-ヒドロキシプロピオン酸アルキルの群から選ばれる少なくとも1種との混合物からなる溶剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)主鎖および/または側鎖に脂環式骨格を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸開裂性基含有樹脂からなり、該酸開裂性基が開裂したときにアルカリ可溶性となる樹脂、(B)放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤、並びに(C)直鎖状ケトンと、環状ケトン、プロピレングリコールモノアルキルエーテルアセテートおよび2-ヒドロキシプロピオン酸アルキルの群から選ばれる少なくとも1種との混合物からなる溶剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 501
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
