特許
J-GLOBAL ID：200903014746232884
エキシマレーザの狭帯域化モジュール及びモニタモジュール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浜本 忠 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-035761
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233900
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 狭帯域化モジュール内での複数のプリズムを、筐体内に精度よく、かつ容易に設置する。【解決手段】 複数のプリズム23a、b、cの全てを一枚の基板33上に設置し、この基板33ごと狭帯域化モジュールの筐体内に設置する。エキシマレーザ光を狭帯域化する又はモニタリングする光学素子を内包する狭帯域化又はモニタモジュールの筐体に、バージガスが流入する入口と、バージガスが流出する出口とを設け、この出口に、途中を折り曲げた排気管を接続する。
請求項（抜粋）：
エキシマレーザ光を狭帯域化する複数のプリズムを含む光学素子を内包する狭帯域化モジュールであって、上記複数のプリズムの全てを一枚の基板上に設置し、この基板ごと狭帯域化モジュールの筐体内に設置したことを特徴とするエキシマレーザの狭帯域化モジュール。
IPC (3件)：
H01S 3/225
, H01S 3/00
, H01S 3/136
H01S 3/223 E
, H01S 3/00 G
, H01S 3/136
