特許
J-GLOBAL ID：200903014797684038

混合クリーニングガス組成物

発明者：
毛利 勇

毛利 勇 について

, 
近藤 剛

近藤 剛 について

, 
大橋 満也

大橋 満也 について


出願人/特許権者：
セントラル硝子株式会社

セントラル硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-011825
公開番号（公開出願番号）：特開2003-218100
出願日： 2002年01月21日
公開日（公表日）： 2003年07月31日
要約：
【要約】【課題】 薄膜形成装置等の内壁、該装置の冶具・部品、配管等に堆積した不要な堆積物を除去するためのクリーニングガスを提供する。【解決手段】 COF2と、CO2、ハロゲンガス、ハロゲン化水素、またはカルボニルハライドの内から選ばれる少なくとも1種のガスを含有する混合クリーニングガス組成物。
請求項（抜粋）：
薄膜形成装置等の内壁、該装置の冶具・部品、配管等に堆積した不要な堆積物を除去するためのクリーニングガスであって、COF2と、CO2、ハロゲンガス、ハロゲン化水素、またはカルボニルハライドの内から選ばれる少なくとも1種のガスを含有することを特徴とする混合クリーニングガス組成物。
IPC (7件)：
H01L 21/31 ,  C09K 13/00 ,  C23C 14/00 ,  C23C 16/44 ,  C23F 1/12 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065
FI (7件)：
H01L 21/31 C ,  C09K 13/00 ,  C23C 14/00 B ,  C23C 16/44 J ,  C23F 1/12 ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 N
Fターム (44件)：
4K029DA09 ,  4K029EA05 ,  4K030DA06 ,  4K030JA06 ,  4K057DA01 ,  4K057DB01 ,  4K057DB06 ,  4K057DB08 ,  4K057DB20 ,  4K057DD01 ,  4K057DD10 ,  4K057DE01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE10 ,  4K057DE11 ,  4K057DE20 ,  4K057DG06 ,  4K057DG20 ,  4K057DN01 ,  4K057DN10 ,  4K057WA01 ,  4K057WB01 ,  4K057WB06 ,  4K057WB08 ,  4K057WB20 ,  4K057WD10 ,  4K057WE30 ,  4K057WN10 ,  5F004AA15 ,  5F004BA04 ,  5F004BD04 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DA20 ,  5F004DA29 ,  5F004DB03 ,  5F004DB07 ,  5F004DB10 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045AC02 ,  5F045AC03 ,  5F045EB06 ,  5F045EH13
引用特許：
審査官引用 (5件)
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